مع استمرار العقد التكنولوجية في التقلص، فإن تشكيل تقاطعات ضحلة للغاية يمثل تحديات كبيرة. تعد عمليات التلدين الحراري بما في ذلك التلدين الحراري السريع (RTA) والتليين بمصباح الفلاش (FLA) من التقنيات الحيوية التي تحافظ على معدلات تنشيط عالية للشوائب مع تقليل الانتشار، مما يضمن الأداء الأمثل للجهاز.
اقرأ أكثرفي صناعة أشباه الموصلات، تعد دقة واستقرار عملية الحفر أمرًا بالغ الأهمية. أحد العوامل الحاسمة في تحقيق النقش عالي الجودة هو ضمان أن تكون الرقائق مسطحة تمامًا على الدرج أثناء العملية. يمكن أن يؤدي أي انحراف إلى قصف أيوني غير متساوٍ، مما يسبب زوايا واختلافات غير مرغوب فيها في معدلات الحفر. ولمواجهة هذ......
اقرأ أكثركربيد السيليكون (SiC) عبارة عن مادة شبه موصلة واسعة النطاق وقد حظيت باهتمام كبير في السنوات الأخيرة بسبب أدائها الاستثنائي في التطبيقات ذات الجهد العالي ودرجات الحرارة العالية. تستكشف هذه الدراسة بشكل منهجي الخصائص المختلفة لبلورات SiC المزروعة باستخدام ظروف العملية المعدلة.
اقرأ أكثر