رقاقة كربيد السيليكون (SiC) من النوع P عبارة عن ركيزة من أشباه الموصلات مخدرة بالشوائب لتكوين موصلية من النوع P (موجبة). كربيد السيليكون عبارة عن مادة شبه موصلة ذات فجوة عريضة توفر خصائص كهربائية وحرارية استثنائية ، مما يجعلها مناسبة للأجهزة الإلكترونية عالية الطاقة وعالية الحرارة.
اقرأ أكثريعتبر جهاز الجرافيت أحد الأجزاء الأساسية في معدات MOCVD ، وهو الناقل والسخان لركيزة الرقاقة. تلعب خصائص الثبات الحراري والتوحيد الحراري دورًا حاسمًا في جودة نمو الويفر الفوقي ، والذي يحدد بشكل مباشر تناسق ونقاء مواد الطبقة ، ونتيجة لذلك تؤثر جودتها بشكل مباشر على تحضير epitaxy.
اقرأ أكثر