الهدف الأساسي هو تحقيق توحيد درجة حرارة سطح الرقاقة (± ± 0.5–5 ℃) واستقرار مجال درجة الحرارة / التدفق، وبالتالي تحسين توحيد سمك الطبقة الفوقي (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 ميكرومتر/ساعة).
اقرأ أكثرتمتلك مركبات C/C العديد من الخصائص الممتازة وهي حاليًا المواد المركبة الوحيدة القادرة على العمل في درجات حرارة عالية تزيد عن 2600 درجة مئوية في أجواء خاملة، مما يجعلها قابلة للتطبيق على نطاق واسع في مجال الطيران والأسلحة والطاقة النووية والمعادن والصناعات الكيميائية.
اقرأ أكثرباعتبارها المادة الأساسية التي لا غنى عنها في صناعة أشباه الموصلات المتطورة، تظهر رقائق كربيد السيليكون خصائص حرارية وكهربائية ممتازة، وتتميز بآفاق تطبيق واسعة في الأجهزة الإلكترونية المتكاملة ذات درجة الحرارة العالية والتردد العالي والطاقة العالية والمقاومة للإشعاع.
اقرأ أكثريتضمن الجمع بين اللباد الناعم واللباد الصلب/الصلب بشكل أساسي موازنة ثلاثة أشياء: التوصيل الحراري (المرحلة الصلبة/الغازية)، ونقل الحرارة الإشعاعية، والهيكل والتجميع. إن التركيز على مؤشر واحد فقط (مثل أدنى موصلية حرارية عند درجة حرارة عالية) سيؤدي عادةً إلى مشاكل في مجالات مثل القوة، واستقرار الأبعاد،......
اقرأ أكثرسيراميك كربيد السيليكون هو مادة خزفية متقدمة تتكون أساسًا من الكربون والسيليكون. يتميز سيراميك كربيد السيليكون بخصائص أداء متميزة، ويستخدم على نطاق واسع في الصناعات المتطورة بما في ذلك الآلات الميكانيكية وتصنيع أشباه الموصلات والصناعة العسكرية وهندسة الطيران.
اقرأ أكثرفي عملية ترسيب الأغشية الرقيقة لتصنيع الرقائق، غالبًا ما يتم ذكر تقنيتين معًا، إلا أنهما مختلفتان بشكل أساسي - الترسيب الفوقي وترسيب البخار الكيميائي. إنهم مثل أبناء العمومة، وكلاهما ينتمي إلى عائلة "نمو البخار"، ولكن بخصائص ونقاط قوة مميزة. في بعض الأحيان، يكونان منفصلين بشكل واضح؛ وفي أحيان أخرى، ......
اقرأ أكثر