PBN سخانات مركبة

تندمج سخانات مركبة Semicorex PBN الموصلية الحرارية الممتازة للجرافيت الهرمي مع الخمول الكيميائي والعزل الكهربائي لنيتريد البورون الهرمي. تم تصميم هذه السخانات من جرافيت نقاء عالي جدًا و PBN يتم تطبيقه باستخدام عملية CVD عالية الجودة (ترسيب البخار الكيميائي) في ظل ظروف ترسب نقاء عالية. تم إيداع كل طبقة إنجاز فردية مع إمكانية تحكم شديدة للغاية لضمان نقاء فائقة وخصائص حرارية متسقة. جوهر الجرافيت ، الذي يوفر تسخين سريع وموحدة طوال الوقت ، محمي من الأكسدة والتلوث بواسطة كبسولة PBN ؛ هذا يجعل المدفأة مثالية لبيئات الغاز الفراغ وبيئات الغاز الخاملة. تم تصميم سخانات PBN هذه عن قصد للاستخدام في مفاعلات MBE (الحزمة الجزيئية الحزمة) ، ومفاعلات CVD ، وأنظمة نمو البلورة الأخرى.

السخان المركب المركب النيتريد النيترايد الحاديمي (PBN-PG) هو سخان يستخدم PBN عالي العدل مثل الركيزة ويستخدم ترسبات البخار الحرارية منخفضة الضغط (CVD) عند الضغط المنخفض (أقل من 10Torr) ودرجة حرارة عالية لتغليف Pg الموصل. المكونات الرئيسية لهذا السخان المركب هي نيتريد البورون الهرمي (PBN) والجرافيت الحذر (PG). نظرًا لمقاومة التآكل الممتازة ومقاومة درجات الحرارة العالية ، يتم استخدامه بشكل أساسي لتسخين الركيزة شبه الموصل (المستخدمة في MBE ، MOCVD ، طلاء الدماغ ، إلخ) ؛ تسخين الركيزة SuperConductor. تسخين عينة أثناء تحليل العينة ؛ تسخين عينة المجهر الإلكتروني ؛ تسخين المعادن مصدر تسخين تبخر المعادن ، إلخ.

يمكن لسخانات PBN تحمل درجات حرارة التشغيل التي تصل إلى 1600 درجة مئوية في الفراغ ولديها قدرة محسنة على تحمل الصدمة الحرارية على أي بدائل معدنية تعتمد عليها. يكون سطح المدفأة ناعمًا للغاية وكثيفًا وينتج عن جزيئات أقل بكثير أثناء التشغيل وهو أمر بالغ الأهمية للتطبيقات التي لا يمكن تحملها تلوثًا مثل معالجة رقاقة أشباه الموصلات.

يوفر التركيب المركب توحيدًا حراريًا ممتازًا عبر سطح المدفأة ، ويمكن تخصيص مساراته المقاومة للسماح بتوزيع حرارة مصمم خصيصًا. يمكّن هذا التصميم دورات سريعة للتشكيل والترساق أثناء المعالجة دون تكسير و delamining بسبب نفس معاملات التمدد الحراري للمواد المستخدمة. الأقطاب الكهربائية قادرة على تصادف تشغيل تيار عالي مستمر ومتوافق أيضا في الفراغ.

يوفر Semicorex مرونة غير محدودة للتصميم للأشكال والأحجام ومتطلبات الطاقة الفريدة عند الضرورة ، لتلبية احتياجات التطبيق المحددة ؛ سواء كان ذلك بالنسبة لأحجام الرقاقة القياسية ، أو الأشكال الهندسية الأكثر تعقيدًا ، فإننا نضمن دقة الأبعاد والتوحيد الحراري في كل وحدة يتم إنتاجها.

تعتبر سخانات PBN المركبة مثالية للتطبيقات الفائقة ، بما في ذلك:

• أنظمة MBE لمعالجة أشباه الموصلات II-V و II-VI
• أنظمة طلاء الفراغ للمكونات البصرية
• أنظمة النمو البلورية للياقوت و SIC
• المعالجة الحرارية عالية النقاء لبيئات مختبر البحث والتطوير.