البوتقة PBN

Semicorex Pyroletic Boron Nitride PBN هي مكونات محمية بدقة مصممة لتلبية المتطلبات الصارمة للعمليات ذات درجة الحرارة العالية والفخمة في الصناعات مثل تصنيع أشباه الموصلات ، ونمو البلورة ، والتطبيقات الفراغية. مصنعة من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ، توفر البوتقات PBN نقاءًا فائقًا وثباتًا حراريًا استثنائيًا والختام الكيميائي المتميز ، مما يجعلها المواد المفضلة في هندسة المواد المتقدمة.

نظرًا لأن نيتريد البورون لديه معامل تمدد حراري مماثل لمعامل الكوارتز ، ولكن الموصلية الحرارية هو 10 أضعاف هذا الأخير ، فإنه يحتوي على مقاومة صدمة حرارية ممتازة ، والتي يمكن أن تقلل من خطر التكسير بسبب التغيرات في درجة الحرارة السريعة ، ويمكن تدويرها عدة مرات في 20 ~ 1200 ℃ دون أي مشاكل. بالإضافة إلى ذلك ، لا يتفاعل نيتريد البورون مع الأحماض والقلوية والزجاج ومعظم المعادن ، ولديه قوة ميكانيكية منخفضة ، أعلى قليلاً من الجرافيت ، ولكنه لا يليه تحت الحمل في درجات حرارة عالية ، ويمكن معالجته بواسطة آلات معالجة المعادن العامة. لذلك ، فهي مناسبة بالفعل للاستخدام باعتبارها أنبوب تسليم المعادن السائل ، وعفن السائل للمعادن الصلب للذوبان والمعادن المتبعة.

عادة ما يتم تصنيعه بواسطة ترسب البخار الكيميائي باستخدام الغاز المحتوي على البورون (BCL3 أو B2H6) كمواد خام ، ولكن نظرًا لأن B2H6 سامة للغاية ، يتم استخدام BCL3 حاليًا كمواد خام. يخضع الغاز المحتوي على البورون إلى انحلال الحراري (1500 ~ 1800 ℃) ويتفاعل مع NH3 في غرفة تفاعل عالية الحرارة لتشكيل نيتريد البورون الصلب. لأن الانحلال الحراري يحدث أثناء التفاعل ، يطلق عليه أيضًانيتريد البورون البيروليتيبوتقة (المعروفة باسم البوتقات PBN).

تشبه عملية نمو المادة "تساقط الثلوج" ، أي أن الثلج السداسي BN المزروع في التفاعل تتراكم باستمرار على ركيزة الجرافيت الساخنة (القالب الأساسي). مع مرور الوقت ، تكثف طبقة التراكم ، وتشكيل قذيفة PBN. Demolding هو مكون PBN مستقل ، PBN ، ويتم ترك طلاء PBN عليه. نظرًا لأن البوتقات PBN لا تحتاج إلى المرور من خلال عملية تلبيد الضغط الساخنة التقليدية ولا تحتاج إلى إضافة أي عامل تلبيد ، فإنها ذات نقاء مرتفع للغاية (أكثر من 99.99 ٪) ، ويمكن أن تصل درجة حرارة التشغيل تحت الفراغ إلى 1800 درجة ، ويمكن أن تصل درجة حرارة التشغيل في الغلاف الجوي إلى 2100 درجة مئوية (عادةً نيتروجين). يتم استخدامه في الغالب في النمو الكريستالي/GaAs/GaAs.