ظرف كهرباء PBN

خصائص الموادبي بي إنتشاك كهرباء

مقاومة درجات الحرارة العالية وقوة العزل الكهربائي

البي بي إنيشتهر الظرف الكهروستاتيكي بمقاومته الاستثنائية لدرجات الحرارة العالية، وهي سمة محورية في عملية تصنيع أشباه الموصلات. يُظهر نيتريد البورون الحراري (PBN)، المادة المستخدمة في بناء ظرف الظرف، مقاومة أعلى من السيراميك الأكثر استخدامًا، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على قوة ظرف Johnsen-Rahbek (J-R) حتى درجات حرارة تصل إلى 1050 درجة مئوية. تضمن هذه المقاومة العالية، إلى جانب قوتها العازلة العالية، منع الانهيار الكهربائي بشكل فعال حتى في ظل الحرارة الشديدة، وبالتالي تعزيز الموثوقية التشغيلية للظرف.

التوحيد الحراري ومقاومة الصدمات

يساهم الهيكل الشبكي السداسي لـ PBN، والذي تم إعداده من خلال ترسيب البخار الكيميائي عند درجات حرارة تتجاوز 1500 درجة مئوية، في توحيده الحراري المتميز ومقاومته للصدمات. عناصر التسخين عالية الكثافة داخلبي بي إنيتيح لها الظرف الكهروستاتيكي تحقيق شكل حراري متسق للرقاقة مع تجانس جيد بنسبة 1.1-1.5% عند درجات حرارة تتراوح بين 600-800 درجة مئوية. علاوة على ذلك، يُظهر ظرف الظرف القائم على PBN مقاومة ملحوظة للصدمات الحرارية وكتلة حرارية أقل، مما يسمح له بالوصول إلى 600 درجة مئوية بسرعة تصاعد سريعة تبلغ 23 درجة مئوية / ثانية دون التعرض لخطر التشقق أو التصفيح.

تدفئة متعددة المناطق قابلة للتخصيص

إن ظرف PBN الكهروستاتيكي قابل للتخصيص بدرجة كبيرة، ويتميز بقدرات تسخين متعددة المناطق تسمح بالتحكم الأقصى في درجة الحرارة. يضمن هذا المستوى من التخصيص إمكانية تصميم كل ظرف لتلبية المتطلبات المحددة للعملاء الفرديين، مما يوفر حلاً مرنًا لمختلف تطبيقات معالجة أشباه الموصلات.

تطبيقاتبي بي إنتشاك كهرباء

زرع الأيونات والتعامل مع الرقاقة

يعتبر جهاز PBN Electrostatic Chuck هو الجهاز المفضل للتعامل مع الرقاقات في عمليات زرع الأيونات. إن قدرتها على حمل الرقائق عند درجات حرارة تتجاوز 1000 درجة مئوية تجعلها واحدة من أكثر الظرف الكهروستاتيكية تنوعًا في السوق. يتم تعزيز هذا التنوع بشكل أكبر من خلال قدرته على الحفاظ على الرقائق ضمن نطاقات درجات حرارة ضيقة للغاية، وذلك بفضل عناصر التسخين عالية الكثافة ومتعددة المناطق.

زرع أيون كربيد السيليكون

في التطبيق المحدد لزرع أيون كربيد السيليكون،بي بي إنيقدم الظرف الكهروستاتيكي حلاً قابلاً للتطبيق لتحديات تسخين الرقاقات والتعامل معها. إن إمكانياته ذات الوظيفة المزدوجة، والتي تتضمن قوة ظرف عالية، وطاقة تسخين عالية، وتوحيدًا حراريًا جيدًا، واستجابة سريعة، تجعله خيارًا مثاليًا لمعالجة المتطلبات المعقدة لزرع أيونات SiC.

تصنيع أشباه الموصلات

يلعب ظرف الكهرباء الساكن PBN دورًا حاسمًا في تصنيع أشباه الموصلات، حيث يعد التعامل الدقيق مع الرقاقات والتحكم في درجة الحرارة أمرًا ضروريًا. إن مقاومته العالية للصدمات الحرارية وقدراته على زيادة درجة الحرارة السريعة تجعله مناسبًا لعمليات أشباه الموصلات المتقدمة التي تتطلب إدارة صارمة لدرجة الحرارة ودورة حرارية سريعة.