سيراميك كربيد التنتالوم المسامي Semicorex هو سيراميك مسامي عالي الأداء تم تصميمه خصيصًا في عملية نقل البخار الفيزيائي (PVT). يلعب هيكلها المسامي الخاص وخصائصها الممتازة دورًا مهمًا في تسهيل نمو بلورات كربيد السيليكون عالية الجودة. باختيار Semicorex، سوف تحصل على حلول سيراميك مسامية مثالية ذات جودة ثابتة وأداء مستقر لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.
إن سيراميك كربيد التنتالوم المسامي Semicorex عبارة عن مادة خزفية ذات درجة حرارة عالية للغاية مع نقطة انصهار تبلغ حوالي 3880 درجة مئوية، والتي يمكنها الحفاظ على أداء مستقر في بيئات التشغيل الصعبة ذات درجات الحرارة العالية والتآكل العالي بفضل خصائص الأداء الممتازة التالية.
أقصى درجة حرارة عمل لـ Semicorex المساميةسيراميك كربيد التنتالوميمكن أن تصل إلى 3200 درجة مئوية، ويمكن أن تعمل بثبات في ظروف نمو بلورات كربيد السيليكون ذات درجة الحرارة العالية لفترة طويلة دون أي تشوه أو تليين.
يُظهر سيراميك كربيد التنتالوم المسامي Semicorex مقاومة أفضل للتآكل ومقاومة الأكسدة مقارنة بالسيراميك التقليدي. يمكنها أن تتحمل بشكل فعال تآكل الأكسجين عالي الحرارة وبخار Si في عملية نمو البلورات.
يتميز سيراميك كربيد التنتالوم المسامي Semicorex بمسام داخلية موزعة بشكل موحد، مع مسامية تتراوح بين 10-60% (قابلة للتخصيص) ومعدل عبر المسام يزيد عن 98%. يمكّن هذا الهيكل الخاص عناصر طور البخار مثل Si وC من التدفق والانتشار بسلاسة داخل فرن نمو البلورات، مما يسهل بشكل كبير نمو البلورات عالية الجودة.
أثناء نمو بلورات كربيد السيليكون عبر عملية PVT، يعمل سيراميك كربيد التنتالوم المسامي Semicorex في المقام الأول في ترشيح عنصر طور البخار، وتنظيم تدرج درجة حرارة الفرن وتوجيه تدفق المواد الغازية. يختلف سيراميك كربيد التنتالوم المسامي Semicorex عن مواد الجرافيت المسامية التقليدية المطلية بـ TaC، ويظهر مزايا مميزة: فهو يزيل المساميةالجرافيت المطلي بـ TaCعيب المواد المتمثل في انخفاض معدل اختراق المسام الناتج عن معالجة الطلاء، مع تجنب نقطة الألم التي تسببها مواد الجرافيت المسامية المطلية بـ TaC في تقشير الطلاء أثناء الخدمة. باستخدام سيراميك كربيد التنتالوم المسامي Semicorex، يمكنك منع عيوب تضمين الكربون بشكل فعال في نمو بلورات كربيد السيليكون، وبالتالي تحسين جودة نمو البلورات وإنتاجية المنتج بشكل كبير.