يعد خزان Semicorex Quartz للمعالجة الرطبة، والمعروف أيضًا باسم حمام الكوارتز، أمرًا بالغ الأهمية بشكل خاص في العمليات الرطبة المستخدمة في تصنيع الرقاقات.**
يوفر خزان الكوارتز للمعالجة الرطبة، المصنوع من الكوارتز بدرجة أشباه الموصلات، متانة استثنائية وعدم تفاعل مع مجموعة متنوعة من الكيمياء بما في ذلك حمض الكبريتيك (H2SO4)، وبيروكسيد الهيدروجين (H2O2)، والمحاليل النظيفة القياسية (SC1).
أحد التطبيقات الأساسية لخزان الكوارتز للمعالجة الرطبة في تصنيع الرقاقات هو تنظيف الرقاقات. أثناء خطوات التصنيع المختلفة، قد يتم إخفاء الرقائق لحفر أجزاء معينة أو لحصر الانتشار في مناطق معينة. بمجرد اكتمال خطوة عملية معينة، يجب تنظيف مادة التقنيع جيدًا لإعداد الرقاقة للخطوة التالية. يلعب خزان الكوارتز للمعالجة الرطبة دورًا حاسمًا في عملية التنظيف هذه، مما يضمن تنظيف الرقائق بشكل فعال دون ترك أي بقايا أو جزيئات يمكن أن تلوث خطوات المعالجة اللاحقة.
تعد قدرة خزان الكوارتز للمعالجة الرطبة على مقاومة المواد الكيميائية العدوانية أمرًا بالغ الأهمية في تطبيقات المعالجة الرطبة. تم تصميم هذه الخزانات لتحمل المواد الكيميائية القاسية المستخدمة في عمليات الحفر والتنظيف دون التفاعل معها. يضمن عدم التفاعل هذا بقاء المواد الكيميائية فعالة وعدم حدوث أي تفاعلات كيميائية غير مرغوب فيها يمكن أن تؤثر على سلامة الرقائق.
في عمليات تنظيف الرقاقات، من الضروري تقليل تلوث الرقائق بالجزيئات. تم تصميم خزان Semicorex Quartz للمعالجة الرطبة لتقليل مخاطر التلوث، مما يضمن تنظيف الرقائق بدقة وكفاءة. يمكن توفير خزانات الكوارتز الخاصة بنا في نماذج مُسخنة ومعاد تدويرها، مما يسمح بالتحكم الدقيق في درجة الحرارة والتدوير المستمر لحلول التنظيف.
الميزة المهمة الأخرى لخزان Semicorex Quartz للمعالجة الرطبة هي المقاومة الحرارية العالية. يمكن أن تعمل هذه الخزانات عند درجات حرارة تصل إلى 190 درجة مئوية، وهي مناسبة للعمليات التي تتضمن تسخين محاليل التنظيف أو الحفر. تضمن المقاومة الحرارية العالية أن تحافظ الخزانات على سلامتها الهيكلية وأدائها حتى في ظل درجات الحرارة المرتفعة. وهذا مهم بشكل خاص في العمليات التي يكون فيها التحكم في درجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية لتحقيق النتائج المرجوة.
يُظهر خزان الكوارتز للمعالجة الرطبة أيضًا تمددًا حراريًا منخفضًا ومقاومة عالية للصدمات الحرارية. يقلل التمدد الحراري المنخفض من خطر التشقق أو التشوه بسبب تقلبات درجات الحرارة، مما يضمن طول عمر الخزانات وموثوقيتها. تسمح المقاومة العالية للصدمات الحرارية لخزانات الكوارتز بمقاومة التغيرات السريعة في درجات الحرارة دون المساس بسلامتها الهيكلية. تعتبر هذه الخصائص الحرارية ضرورية للحفاظ على دقة وموثوقية خطوات المعالجة الرطبة في تصنيع الرقاقات.
تعد الشفافية العالية ميزة أخرى لخزان Semicorex Quartz للمعالجة الرطبة. تسمح شفافية مادة الكوارتز بالفحص البصري للرقائق ومحاليل التنظيف أو الحفر أثناء المعالجة. تعمل هذه الرؤية على تحسين التحكم في العمليات ومراقبتها، مما يضمن اكتشاف أي مشكلات ومعالجتها على الفور. تعد القدرة على مراقبة العملية بصريًا ذات أهمية خاصة لضمان جودة واتساق خطوات تنظيف ونقش الرقاقة.
في Semicorex، نحن نستخدم تكنولوجيا تصنيع متقدمة لإنتاج خزان كوارتز عالي الجودة للمعالجة الرطبة. تشمل قدرات التصنيع لدينا شفرة الماس والقطع بالليزر حسب الحجم، مما يضمن أبعادًا دقيقة وتشطيبات عالية الجودة. نحن نستخدم أيضًا أسطحًا مصقولة للغاية لتقليل مخاطر توليد الجسيمات والتلوث. يقوم عمال اللحام والميكانيكيون ذوو الخبرة لدينا بإنشاء خزانات كوارتز عالية النقاء مع مداخل ملحومة عالية القوة وحوامل مجسات، مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لعملائنا.
لتعزيز أداء ومتانة خزان الكوارتز للمعالجة الرطبة، نقوم بتلحينه لتخفيف الضغط الحراري. التلدين هو عملية معالجة حرارية تقلل من الضغوط الداخلية داخل مادة الكوارتز، مما يحسن مقاومتها للصدمات الحرارية ويعزز متانتها بشكل عام.
تعد الأحجام والتكوينات المخصصة ضرورية لتلبية المتطلبات المتنوعة لعمليات تصنيع أشباه الموصلات. في Semicorex، نقدم مجموعة واسعة من الأحجام والتكوينات المخصصة لخزانات الكوارتز الخاصة بنا، مما يسمح لنا بتقديم حلول مصممة خصيصًا لتلبية الاحتياجات المحددة لعملائنا. سواء أكان ذلك إضافة مداخل كوارتز ملحومة عالية القوة، أو حاملات مجسات، أو ميزات مخصصة أخرى، فإننا نعمل بشكل وثيق مع عملائنا لتقديم خزانات كوارتز تلبي مواصفاتهم الدقيقة.