أنابيب نشر الكوارتز من فئة أشباه الموصلات

قوارب الكوارتزوعادة ما تستخدم في درجات الحرارة العالية، وظروف التشغيل القاسية للتآكل الكيميائي. أثناء العملية، يتم وضع رقائق أشباه الموصلات في قارب الكوارتز وإدخالها في أنبوب انتشار الكوارتز. عندما يصل أنبوب الانتشار إلى درجة الحرارة المطلوبة (عدة مئات إلى عدة آلاف من الدرجات المئوية)، يتم إدخال غازات المعالجة (على سبيل المثال، O₂، N₂، H₂، Ar) والغازات المشابهة (على سبيل المثال، POCl₃، BBr₃) في أنبوب نشر الكوارتز من خلال منافذ الغاز لإجراء الأكسدة والانتشار والتليين على رقائق أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك، لتحسين انتظام النشر ودقته، يجب تنفيذ بعض عمليات الانتشار في بيئة منخفضة الضغط. 

وفي عمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة، فإن أي خطأ أو خلل بسيط في هذه العمليات يمكن أن يؤدي إلى فشل العمليات اللاحقة. ولذلك، باعتبارها أجزاء مهمة من تصنيع أشباه الموصلات، فإن جودة أنابيب نشر الكوارتز مهمة بشكل كبير وتؤثر بشكل مباشر على إنتاجية وأداء أجهزة أشباه الموصلات.

مواصفات سيميكوركس الكوارتز الصف أشباه الموصلات

يتم تصنيع أنابيب نشر الكوارتز من درجة أشباه الموصلات Semicorex بدقة من مواد عالية الجودةالكوارتز أشباه الموصلاتمادة. فيما يلي معلماتها المحددة:

يمكن تخصيص المعلمات وفقًا لمتطلبات العملاء.

أداء أنابيب نشر الكوارتز من فئة أشباه الموصلات Semicorex

بالاعتماد على تكنولوجيا المعالجة ذات الخبرة لدينا واختيار المواد الموثوقة، فإن درجة أشباه الموصلات Semicorexأنابيب انتشار الكوارتزإظهار الأداء المتفوق في ظل ظروف التشغيل الصعبة:

1. أداء مقاومة درجات الحرارة العالية

توفر أنابيب نشر الكوارتز من درجة أشباه الموصلات من Semicorex مقاومة ملحوظة لدرجات الحرارة العالية، مما يمكنها من العمل بثبات في بيئات ذات درجة حرارة عالية تصل إلى 1200 درجة مئوية دون أي تشوه أو ضرر.

2. أداء الاستقرار الحراري

بفضل معاملها الاستثنائي للتمدد الحراري، فإن أنابيب نشر الكوارتز من درجة أشباه الموصلات Semicorex قادرة على تحمل الضغط الحراري أثناء التسخين السريع أو التبريد دون التشقق أو التشوه بسهولة.

3. أداء المقاومة الكيميائية

توفر أنابيب نشر الكوارتز من درجة أشباه الموصلات من Semicorex خمولًا كيميائيًا فائقًا في البيئات شديدة الحرارة والتآكل. يمنع هذا الأداء بشكل كبير الملوثات الناتجة عن تفاعلها مع غازات المعالجة من التأثير على جودة الرقاقة.