سخان الجرافيت شبه الموصل من Semicorex هو جهاز تسخين عالي الكفاءة مصنوع من الجرافيت المتوازن عالي الجودة. يتم استخدامه على نطاق واسع في روابط العملية الأساسية لتصنيع أشباه الموصلات، مثل المجال الحراري لأفران النمو البلوري، وعمليات النمو الفوقي، ومعدات زرع الأيونات، ومعدات حفر البلازما، وإنتاج قوالب تلبيد أجهزة أشباه الموصلات.
أشباه الموصلاتسخان الجرافيتهو جهاز تسخين متقدم مصنوع من مادة الجرافيت المتوازنة عالية النقاء. تضمن الموصلية الكهربائية الممتازة والتوصيل الحراري التحكم الدقيق في درجة الحرارة والتوزيع الموحد للحرارة لنمو ومعالجة المواد شبه الموصلة. عندما يمر التيار الكهربائي عبر السخان، فإنه يتغلب على المقاومة الكهربائية الداخلية للجرافيت، ويحول الطاقة الكهربائية إلى حرارة، مما يرفع درجة حرارة الجرافيت ويحقق التسخين. يمكن عادةً تحقيق التحكم الدقيق في درجة الحرارة عن طريق ضبط شدة التيار الكهربائي ومقاومة السخان.
سيميكوريكس مختارة بعناية عالية النقاءالجرافيت متساوي الضغطيُظهر موصلية حرارية ممتازة، مما يتيح له نقل الحرارة بسرعة وبشكل متساوٍ إلى كل ركن من أركان منطقة التسخين، مما يمنع بشكل فعال ارتفاع درجة الحرارة الموضعية.
والجدير بالذكر أنه حتى عند تعرضه لظروف درجات حرارة عالية جدًا، مثل الاجتثاث القوسي بدرجة حرارة عالية جدًا، فإن الجرافيت المتوازن عالي النقاء يحافظ على خصائص فيزيائية وكيميائية مستقرة. عادةً ما تتسبب الحرارة الشديدة في ذوبان المواد أو تشوهها أو أكسدةها، لكن هذا النوع من الجرافيت قادر على مقاومة تلك التغييرات. وهذا يجعلها مناسبة تمامًا للعمليات ذات درجات الحرارة العالية في إنتاج أشباه الموصلات، بما في ذلك سحب السيليكون أحادي البلورة ونمو بلورات كربيد السيليكون.
يتميز سخان الجرافيت أشباه الموصلات بكفاءة الطاقة. لا يتطلب أي تسخين مسبق، ويصل إلى درجة الحرارة المحددة بسرعة، ويحقق توفيرًا ملحوظًا في الطاقة مقارنة بالسخانات التقليدية. إن كفاءة التحويل الحراري العالية تقلل بشكل فعال من استهلاك الطاقة، مما يحقق الحفاظ على الطاقة وتقليل الاستهلاك. أثناء التشغيل، لا ينتج أي ملوثات أو غازات عادم، مما يتوافق مع المتطلبات البيئية.
بالإضافة إلى ذلك، سخان الجرافيت شبه الموصل يتميز بعمر خدمة طويل. يمنحهم الجرافيت المتوازن عالي النقاء قوة ميكانيكية فائقة، ومقاومة قوية للتآكل، ومقاومة ممتازة للصدمات الحرارية. فهي أقل عرضة لعوامل مثل درجات الحرارة المرتفعة والتآكل الكيميائي، مما يسمح بعمر خدمة أطول.