صواني الجرافيت المغلفة كذا

صواني الجرافيت المغلفة SEMICOREX هي مواد متقدمة مصممة خصيصًا للمطالبة بيئات النمو الفوقي. في صناعة LED للأشعة فوق البنفسجية ، وخاصة في تصنيع الأجهزة المستندة إلى Algan ، تلعب هذه الصواني دورًا حاسمًا في ضمان التوزيع الحراري الموحد والاستقرار الكيميائي وحياة الخدمة الطويلة أثناء ترسب البخار الكيميائي المعدني (MOCVD).

يمثل النمو الفوقي لمواد Algan تحديات فريدة بسبب ارتفاع درجات الحرارة في العملية ، والسلائف العدوانية ، والحاجة إلى ترسب أفلام موحد للغاية. تم تصميم صواني الجرافيت المغلفة الخاصة بنا لمواجهة هذه التحديات من خلال تقديم الموصلية الحرارية الممتازة ، والنقاء العالي ، والمقاومة الاستثنائية للهجوم الكيميائي. يوفر جوهر الجرافيت السلامة الهيكلية ومقاومة الصدمة الحرارية ، في حين أن الكثافةطلاء كذايوفر حاجزًا وقائيًا ضد الأنواع التفاعلية مثل الأمونيا والسلائف العضوية المعدنية.

غالبًا ما يتم استخدام صواني الجرافيت المغلفة كمكون لدعم وتسخين ركائز البلورة المفردة في معدات ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD). يلعب الاستقرار الحراري والتوحيد الحراري وغيرها من معلمات الأداء من صواني الجرافيت المغلفة SIC دورًا حاسمًا في جودة نمو المواد الفوقية ، لذلك فهو المكون الرئيسي لمعدات MOCVD.

تعتبر تقنية ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD) حاليًا التكنولوجيا الرئيسية للنمو الفوقي للأفلام الرقيقة GAN في LED الأزرق. لديها مزايا التشغيل البسيط ، ومعدل النمو القابل للسيطرة ، ونقاء العالي من الأفلام الرقيقة GAN المزروعة. تحتاج صواني الجرافيت المغلفة SIC المستخدمة للنمو الفوقي للأفلام الرقيقة GAN ، كمكون مهم في غرفة تفاعل معدات MOCVD ، إلى مزايا مقاومة درجات الحرارة العالية ، والتوصيل الحراري الموحد ، والاستقرار الكيميائي الجيد ، ومقاومة الصدمات الحرارية القوية. يمكن لمواد الجرافيت تلبية الشروط المذكورة أعلاه.

كواحد من المكونات الأساسية في معدات MOCVD ،كذا المغلفة الجرافيتالصواني هي الناقل والعنصر التدفئة في الركيزة الركيزة ، والتي تحدد مباشرة توحيد ونقاء مادة الفيلم الرقيقة. لذلك ، تؤثر جودتها بشكل مباشر على تحضير الرقاقات الفوقية. في الوقت نفسه ، مع زيادة عدد الاستخدامات والتغييرات في ظروف العمل ، من السهل جدًا ارتداءها والدموع ، وهي قابلة للاستهلاك.

على الرغم من أن الجرافيت لديه توصيل حراري ممتاز واستقرار ، مما يجعله ميزة جيدة كمكون أساسي من معدات MOCVD ، أثناء عملية الإنتاج ، سيتم تآكل الجرافيت ومسحوقه بسبب الغاز المتبقي المتبقي والمواد العضوية المعدنية ، مما يقلل بشكل كبير من عمر خدمة قاعدة الجرافيت. في الوقت نفسه ، سوف يتسبب مسحوق الجرافيت الساقط في تلوث الشريحة.

يمكن أن يوفر ظهور تكنولوجيا الطلاء تثبيت مسحوق السطح ، ويعزز الموصلية الحرارية ، وتوازن توزيع الحرارة ، وأصبحت التكنولوجيا الرئيسية لحل هذه المشكلة. يتم استخدام قاعدة الجرافيت في بيئة معدات MOCVD ، ويجب أن يفي الطلاء السطحي لقاعدة الجرافيت الخصائص التالية:

(1) يمكن أن يلف قاعدة الجرافيت بالكامل وله كثافة جيدة ، وإلا فإن قاعدة الجرافيت تآكل بسهولة في الغاز المسبق.

(2) لديه قوة ترابط عالية مع قاعدة الجرافيت للتأكد من أن الطلاء ليس من السهل الانخفاض بعد تجربة العديد من درجات الحرارة العالية ودرجات الحرارة المنخفضة.

(3) لديها استقرار كيميائي جيد لتجنب الطلاء من الفشل في جو عالي التآكل.

يتمتع SIC بمزايا مقاومة التآكل ، والتوصيل الحراري العالي ، ومقاومة الصدمة الحرارية ، والاستقرار الكيميائي العالي ، ويمكن أن تعمل بشكل جيد في الغلاف الجوي للضرب الجان. بالإضافة إلى ذلك ، فإن معامل التمدد الحراري لـ SIC قريبًا جدًا من معامل الجرافيت ، لذلك SIC هو المادة المفضلة لطلاء السطح لقاعدة الجرافيت.

في الوقت الحالي ، فإن SIC المشترك هو بشكل أساسي 3C و 4H و 6H أنواع ، كما أن SIC من أشكال البلورة المختلفة لها استخدامات مختلفة. على سبيل المثال ، يمكن استخدام 4H-SIC لتصنيع الأجهزة عالية الطاقة ؛ 6H-SIC هي الأكثر استقرارًا ويمكن استخدامها لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الضوئية ؛ يمكن استخدام 3C-SIC ، بسبب هيكله المشابه لـ GAN ، لإنتاج طبقات GAN الفائقة وتصنيع أجهزة RF SIC-GAN. يشار إلى 3C-SIC أيضًا باسم β-SIC. الاستخدام المهم لـ β-SIC هو فيلم رفيع وطبقة. لذلك ، β-SIC هو حاليا المادة الرئيسية للطلاء.