أجزاء نصف القمر المطلية بـ SiC

تُعد أجزاء Halfmoon، المطلية بكربيد السيليكون الممتاز (SiC)، سمة أساسية للعمليات الفوقية باعتبارها حاملات للرقاقات وموصلات حرارية. يوفر شكلها نصف القمر المتخصص طريقة للتجميع في شكل أسطواني يعمل كعنصر أساسي داخل المفاعلات الفوقي. داخل بيئة الغرفة أو المفاعل، يجب تأمين الرقائق ولكن أيضًا تسخينها بشكل موحد أثناء حدوث ترسيب الأغشية الرقيقة الحرجة. توفر أجزاء Halfmoon المطلية بـ SiC القدر المناسب من الدعم الميكانيكي والثبات الحراري والمتانة الكيميائية لأداء هذه المهام.

الجرافيتهي المادة الأساسية لأجزاء Halfmoon وتم اختيارها نظرًا للتوصيل الحراري الجيد جدًا ووزنها وقوتها المنخفضين نسبيًا. سطح الجرافيت مغطى بسطح كربيد السيليكون المترسب ببخار كيميائي كثيف عالي النقاء (CVD SiC) ليكون قويًا ضد البيئات العدوانية المرتبطة بالنمو الفوقي. يعمل طلاء SiC على تحسين صلابة سطح الأجزاء ويوفر مقاومة للغازات التفاعلية مثل الهيدروجين والكلور، مما يوفر ثباتًا جيدًا على المدى الطويل وتلوثًا محدودًا للغاية أثناء المعالجة. يعمل الجرافيت وSiC معًا في أجزاء Halfmoon لتوفير التوازن الصحيح للقوة الميكانيكية مع الخصائص الكيميائية والحرارية.

من أهم الأدوار الحيويةالمغلفة سيكأجزاء Halfmoon هي دعم الرقائق. من المتوقع أن تكون الرقائق مسطحة ومستقرة في جميع أنحاء الطبقة الفوقية بأكملها لتسهيل النمو المتساوي للبنية الشبكية في الطبقات البلورية. قد تؤدي أي درجة من الانثناء أو عدم الاستقرار في الأجزاء الداعمة إلى ظهور طبقات معيبة في النفوق وتؤثر في النهاية على أداء الجهاز. يتم تصنيع أجزاء Halfmoon بعناية لتحقيق الاستقرار النهائي للأبعاد عند درجات الحرارة المرتفعة للحد من احتمالية الالتواء وتوفير وضع مناسب للرقاقة تحت أي وصفة فوقية محددة. تُترجم هذه السلامة الهيكلية إلى جودة فوقية أفضل وإنتاجية أكبر.

من الوظائف التي لا تقل أهمية لأجزاء Halfmoon التوصيل الحراري. في الغرفة الفوقي، تعتبر التوصيل الحراري الموحد والثابت هو المفتاح للحصول على أغشية رقيقة عالية الجودة. يعتبر قلب الجرافيت مناسبًا بشكل مثالي للتوصيل الحراري للمساعدة في عملية التسخين وتسهيل توزيع درجة الحرارة بشكل متساوٍ. يحمي طلاء SiC القلب من التعب الحراري والتدهور والتلوث أثناء العملية. لذلك، يمكن تسخين الرقائق بشكل موحد من أجل تحقيق نقل موحد لدرجة الحرارة ودعم تطوير طبقات فوقي خالية من العيوب. بمعنى آخر، بالنسبة لعمليات نمو الأغشية الرقيقة التي تتطلب ظروفًا حرارية محددة، توفر أجزاء Halfmoon المطلية بـ SiC الكفاءة والموثوقية. طول العمر هو الجانب الرئيسي للمكونات. غالبًا ما يتكون Epitaxy من التدوير الحراري في درجات حرارة مرتفعة تتجاوز ما يمكن أن تتحمله مواد البناء الشائعة دون تدهور.

النظافة هي فائدة مهمة أخرى. نظرًا لأن النضوج حساس جدًا للتلوث، فإن استخدام طلاء CVD SiC ذو النقاء العالي بشكل استثنائي يزيل التلوث من غرفة التفاعل. وهذا يقلل من توليد الجسيمات ويحمي الرقائق من العيوب. إن استمرار تقليص حجم هندسة الأجهزة والتضييق المستمر لمتطلبات العملية الفوقي يجعل التحكم في التلوث أمرًا ضروريًا لضمان جودة إنتاج متسقة.

لا تعالج أجزاء Halfmoon المطلية بـ Semicorex SiC مشكلات النظافة فحسب، بل إنها أيضًا مرنة ويمكن تعديلها لتناسب تكوينات النظام الفوقي المختلفة. ويمكن أيضًا تصنيعها بأبعاد معينة وسمك الطلاء والتصميمات/التفاوتات التي تتلاءم افتراضيًا مع المعدات الدقيقة. تساعد هذه المرونة في ضمان إمكانية دمج المعدات الموجودة بسلاسة والحفاظ على التوافق الأمثل للعمليات.