إن برميل المستقبِل المطلي بالـ SiC من Semicorex لغرفة المفاعل LPE هو حل موثوق به للغاية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات ، ويتميز بتوزيع الحرارة الفائق وخصائص التوصيل الحراري. كما أنها شديدة المقاومة للتآكل والأكسدة ودرجات الحرارة المرتفعة.
إن برميل المستشعر المطلي بالـ SiC من Semicorex لغرفة المفاعل LPE هو منتج عالي الجودة ، تم تصنيعه وفقًا لأعلى معايير الدقة والمتانة. إنه يوفر موصلية حرارية ممتازة ، ومقاومة للتآكل ، ومناسب للغاية لتطبيقات LPE في تصنيع أشباه الموصلات.
تم تصميم برميل المستشعر المطلي بـ SiC لغرفة المفاعل LPE لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن البرميل المُستقبِل المطلي بـ SiC لغرفة المفاعل LPE.
معلمات برميل المستشعر المطلي بـ SiC لغرفة المفاعل LPE
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات برميل المستقبِل المطلي بـ SiC لغرفة المفاعل LPE
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.