برميل Susceptor المطلي بـ SiC لغرفة المفاعل الفوقي

يعد برميل Susceptor Barrel المطلي بـ SiC من Semicorex لغرفة المفاعل الفوقي حلًا موثوقًا للغاية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات، ويتميز بتوزيع الحرارة الفائق وخصائص التوصيل الحراري. كما أنه مقاوم للغاية للتآكل والأكسدة ودرجات الحرارة المرتفعة.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يعد برميل Susceptor Barrel المطلي بـ SiC من Semicorex لغرفة المفاعل الفوقي منتجًا عالي الجودة، تم تصنيعه وفقًا لأعلى معايير الدقة والمتانة. إنه يوفر توصيلًا حراريًا ممتازًا، ومقاومة للتآكل، وهو مناسب جدًا لمعظم المفاعلات الفوقية في تصنيع أشباه الموصلات.
تم تصميم أسطوانة Susceptor المطلية بـ SiC لغرفة المفاعل الفوقي لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن برميلنا القابل للالتصاق المطلي بطبقة SiC لغرفة المفاعل الفوقي.

معلمات البرميل القابل للالتصاق المطلي بـ SiC لغرفة المفاعل الفوقي

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونج	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300

ميزات برميل Susceptor المطلي بـ SiC لغرفة المفاعل الفوقي

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.

- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.

- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.