غطاء كذا

يعد غطاء siC SiMicorex جزءًا حيويًا تم تصميمه خصيصًا لمعالجة أشباه الموصلات. وهو مصمم لأصعب البيئات في تطبيقات Epitaxy ، وزرع أيون ، وتطبيقات درجات الحرارة العالية. يتم تصنيعه من كربيد السيليكون فائق النشر والذي يحتوي على خصائص مواد مستقرة للغاية ودقة هندسية. الاتساق طويل الأجل ، والمتانة ، والنظافة هي الأسباب الرئيسية لتحديد غطاء SIC SIC Semicorex للاستخدام في عمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.

كربيد السيليكون (كذا)لديه مجموعة من الخصائص الفريدة مقارنة بالسيراميك التقليدي أو المواد المعدنية. واحدة من المزايا الرئيسية لـ SIC هي مقاومتها لدرجات الحرارة المرتفعة. يمكن لـ SIC الحفاظ على سلامتها الهيكلية واستقرارها الميكانيكي - لفترات زمنية طويلة حتى في درجات الحرارة المرتفعة. هذا يجعل SIC مثاليًا لعمليات مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD) epitaxy أو زرع أيون عالي الطاقة. من شأن المعادن والمواد البلاستيكية تشويه أو تتأكسد أو تلوث درجات الحرارة القصوى ، في حين أن SIC ستحافظ على استقرارها الأبعاد ولن تتفاعل بشكل إيجابي مع العرقات التي يتم معالجتها.

المقاومة الكيميائية هي ميزة أخرى مميزة من أغطية SIC. في معالجة أشباه الموصلات ، فإن البيئات التي قد تواجهها مع الغازات المسببة للتآكل أو البلازما أو المواد الكيميائية التفاعلية ليست شائعة. في تلك السيناريوهات ، سيوفر سطح SIC حاجزًا خاملًا لمقاومة تلك الملوثات من تحطيم السطح بمرور الوقت مما يؤدي إلى حياة فعالة أطول. هذا العمر يعادل تقليل تكاليف الصيانة ، وتقليل وقت المعدات ، والتكرار عبر دورات العملية الممتدة. هذه العوامل تجعل غطاء SIC خيارًا أفضل لـ FABs الذي يتطلب إنتاجًا مستمرًا وعالي العائد مقارنة بالمواد التقليدية.

تمامًا مثل المقاومة الكيميائية ، فإن النقاء أمر بالغ الأهمية أيضًا في تطبيق أشباه الموصلات. يمكن أن يكون لوجود الملوثات النزرة تأثير سلبي على أداء الجهاز والعائد. يتكون غطاء SIC من مواد كربيد السيليكون عالية النقاء التي تستبعد إمكانية تدفق الشوائب المعدنية إلى بيئة العملية. بالإضافة إلى ذلك ، من المضمون أن تكون نظيفة قدر الإمكان ومستقرة من حيث صلتها بالملوثات والقوى الخارجية التي تؤثر على أداء الغطاء ، وهو أمر بالغ الأهمية في الوفاء بمتطلبات تصنيع أشباه الموصلات اليوم ، حيث يجب تعريف كائنات مستوى النانومتر بدقة واضطراب غير محدودة للملوثات. المرونة التي يوفرها غطاء SIC هي قيمة إضافية. يمكن تصميم كل مكون لتلبية احتياجات العميل المحددة فيما يتعلق بالحجم والهندسة والتشطيب السطحي. هذا يضمن أنه يمكن دمج الغطاء بسهولة ودمجها مع نماذج المعدات المختلفة وأدوات العملية.

دقة تصنيعكذاالأغطية تعمل على تحسين قيمة أغطية SIC. تتطلب أدوات أشباه الموصلات أعلى دقة ميكانيكية بسبب التقلبات الكبيرة في التوافق الأبعاد والتوحيد السطحي ، وحتى الفروق الطفيفة في التوحيد وسمك المواد يمكن أن تؤثر بشدة على تناسق عملية الأداة وإنتاجية وجودة المنتج. من خلال التقنيات المتقدمة في معالجة المواد ، فإن أغطية SIC لها تسطيح ، وتوحيد السطح والتحملات التي تتجاوز معايير الصناعة التقليدية ، مما يوفر سمك سطح الختم الميكانيكي ، عادةً ، الآلاف/الآلاف من بوصة (TIR). يتيح التسطيح العالي إغلاق الملاءمة الميكانيكية بالإضافة إلى التأكيد على حدود درجة المختبر لتجربة الظروف في عملية الإنتاج. هذا واضح بشكل خاص في القوات المسلحة البوروندية ذات الحجم الكبير حيث يكون التركيز على تكرار الظروف أمرًا بالغ الأهمية لأداء أجهزة أشباه الموصلات. عندما تتابع الهندسة الدقيقة ، فإنه يتحدث مباشرة لإنتاج التحسين. عندما تكون أغطية SIC في الاستخدام العملي النموذجي ، على سبيل المثال ، في epitaxy حيث يجلس غطاء SIC مستقرًا حراريًا وكيميائيًا للوصول إلى المفاعل ، أو في نظام زرع أيون لمقاومة الجزيئات النشطة التي يتم إخراجها من حزمة طاقة عالية من أيونات تضغط على الغطاء ، وتكويناتها الميكانيكية التي يتم تهيئتها. من المقرر أن تكون أغطية SIC مرادفًا في إنتاج أشباه الموصلات الصلبة.

يمثل LID SEMICOREX SIC أفضل ما في علوم المواد وهندسة المواد ، ويقدم أفضل أداء ممكن في بيئة أشباه الموصلات ، من بين تحملات درجات الحرارة المرتفعة ، والمقاومة الكيميائية ، والفنون المثالية ، والتصنيع المخصصة ، وعمل الآلات الدقيقة ، وسيد الغطاء الشديد.