Semicorex هو شريكك لتحسين معالجة أشباه الموصلات. تتميز طلاءات كربيد السيليكون الخاصة بنا بأنها كثيفة ومقاومة لدرجة الحرارة العالية والمواد الكيميائية، والتي تُستخدم غالبًا في الدورة الكاملة لتصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك معالجة رقائق أشباه الموصلات والرقائق وتصنيع أشباه الموصلات.
تعتبر مكونات السيراميك SiC عالية النقاء ضرورية للعمليات في أشباه الموصلات. تتراوح عروضنا من الأجزاء الاستهلاكية لمعدات معالجة الويفر، مثل قارب الويفر من كربيد السيليكون، والمجاديف الكابولية، والأنابيب، وما إلى ذلك لـ Epitaxy أو MOCVD.
مزايا عمليات أشباه الموصلات
يجب أن تتحمل مراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل التنضيد أو MOCVD، أو معالجة معالجة الرقاقة مثل النقش أو زرع الأيونات درجات حرارة عالية وتنظيفًا كيميائيًا قاسيًا. يوفر Semicorex هيكل كربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) يوفر مقاومة فائقة للحرارة ومقاومة كيميائية متينة، حتى التوحيد الحراري لسمك طبقة epi المتسقة والمقاومة.
أغطية الغرفة →
يجب أن تتحمل أغطية الغرفة المستخدمة في نمو البلورات ومعالجة الرقائق درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي.
مجداف ناتئ →
يعد Cantilever Paddle مكونًا حاسمًا يستخدم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، خاصة في أفران الانتشار أو LPCVD أثناء عمليات مثل الانتشار وRTP.
أنبوب العملية →
يعد أنبوب المعالجة مكونًا حاسمًا، وهو مصمم خصيصًا في العديد من تطبيقات معالجة أشباه الموصلات مثل RTP والانتشار.
قوارب الويفر →
يُستخدم قارب الويفر في معالجة أشباه الموصلات، وقد تم تصميمه بدقة لضمان الحفاظ على الرقائق الرقيقة آمنة خلال المراحل الحرجة من الإنتاج.
حلقات المدخل →
حلقة مدخل الغاز المطلية بـ SiC بواسطة معدات MOCVD تتميز النمو المركب بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، والتي تتمتع بثبات كبير في البيئة القاسية.
حلقة التركيز →
تزود شركة Semicorex حلقة التركيز المطلية بكربيد السيليكون بأنها مستقرة حقًا للتنظيف الكيميائي القاسي من RTA أو RTP.
ويفر تشاك →
إن خراطيش الويفر الخزفية المسطحة للغاية من Semicorex هي عبارة عن طلاء عالي النقاء من SiC يستخدم في عملية معالجة الرقاقات.
لدى Semicorex أيضًا منتجات سيراميك في الألومينا (Al2O3)، ونيتريد السيليكون (Si3N4)، ونيتريد الألومنيوم (AIN)، والزركونيا (ZrO2)، والسيراميك المركب، وما إلى ذلك.
تمثل أسطوانة توجيه نيتريد السيليكون من Semicorex قمة في هندسة السيراميك المتقدمة. يقدم هذا المنتج مزيجًا رائعًا من الخصائص الميكانيكية والحرارية والكهربائية.**
اقرأ أكثرإرسال استفسارتم تصميم ظرف التفريغ Semicorex Al2O3 لتلبية المتطلبات الصارمة لمختلف عمليات إنتاج أشباه الموصلات، بما في ذلك التخفيف، والتقطيع، والتنظيف، ونقل الرقائق. **
اقرأ أكثرإرسال استفساريتم استخدام ظرف الفراغ السيراميكي Semicorex Alumina في عمليات ترقق الرقاقات وطحنها في تصنيع أشباه الموصلات، وهو بمثابة أداة لا غنى عنها لتحقيق إنتاج أشباه الموصلات عالي الدقة والموثوق.**
اقرأ أكثرإرسال استفساريعد جزء الختم الخزفي Semicorex SiC بمثابة شهادة على البراعة العلمية والهندسية المتطورة للمواد، وهو مصمم لتلبية المتطلبات الصارمة لتطبيقات الختم الميكانيكية عالية الأداء عبر مجموعة متنوعة من الصناعات.**
اقرأ أكثرإرسال استفسارتحظى حلقة Semicorex SiC O بتقدير كبير في مجموعة من الصناعات نظرًا لقدراتها الاستثنائية على الختم وخصائص المواد. ويمتد استخدامه إلى التطبيقات التي تكون فيها الظروف القاسية مثل درجات الحرارة المرتفعة والمواد الكيميائية العدوانية والضغط الميكانيكي والنظافة الصارمة أمرًا روتينيًا.**
اقرأ أكثرإرسال استفساريعتبر جهاز Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck مكونًا متخصصًا للغاية يستخدم في صناعة أشباه الموصلات لحمل الرقائق بشكل آمن أثناء عمليات التصنيع المختلفة. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.*
اقرأ أكثرإرسال استفسار