حلقة الختم المغلفة بـ TaC

تُظهر حلقة الختم المطلية بـ TaC من Semicorex خمولًا رائعًا لمجموعة واسعة من الغازات المسببة للتآكل والمواد الكيميائية المستخدمة في عمليات أشباه الموصلات، بما في ذلك كيمياء حفر البلازما (مثل الفلور والكلور والبروم)، والمواد المشابهة (مثل البورون والفوسفور والزرنيخ) والمواد العدوانية. عوامل التنظيف. يمنع هذا الخمول تدهور الختم وتلوث غرف العمليات الحساسة.

ومع نقطة انصهار تتجاوز 3800 درجة مئوية، تحافظ حلقة الختم المطلية بـ TaC على سلامتها الهيكلية وقوتها الميكانيكية عند درجات الحرارة المرتفعة التي يتم مواجهتها أثناء معالجة الرقاقة. وهذا يضمن أداء الختم الموثوق به أثناء عمليات التلدين والترسيب والحفر بدرجة الحرارة العالية.

توفر الصلابة القصوى لحلقة الختم المطلية بـ TaC ومعامل الاحتكاك المنخفض مقاومة استثنائية للتآكل والخدش والتآكل. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية في تطبيقات الختم الديناميكي حيث يمكن أن تؤدي الحركة المتكررة أو التلامس مع الرقائق والمكونات الأخرى إلى توليد الجسيمات وفشل الختم.

تُظهر حلقة الختم المطلية بـ TaC معدلات إطلاق غازات منخفضة جدًا، حتى في درجات الحرارة المرتفعة، مما يجعلها مثالية لتطبيقات الفراغ العالي. وهذا يضمن نقاء العملية ويمنع ترسب الملوثات غير المرغوب فيها على أسطح الرقاقات الحساسة.

فوائد محددة في تطبيقات أشباه الموصلات:

تمديد عمر الختم:تعمل حلقة الختم المطلية بـ TaC على زيادة عمر الختم بشكل كبير من خلال توفير مقاومة فائقة للهجوم الكيميائي والتدهور الحراري والتآكل الميكانيكي. وهذا يقلل من تكرار عمليات استبدال الختم، مما يقلل من تكاليف التوقف والصيانة.

تحسين إنتاجية العملية وجودة الرقاقة:تعمل الطبيعة الخاملة لحلقة الختم المطلية بـ TaC على تقليل توليد الجسيمات والتلوث، مما يؤدي إلى زيادة إنتاجية العمليات وتحسين جودة الرقاقة. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء مع تحمل صارم للعيوب.

تحسين وقت تشغيل المعدات وإنتاجيتها:يساهم عمر الختم الأطول وتقليل متطلبات الصيانة في زيادة وقت تشغيل المعدات والإنتاجية الإجمالية. وهذا أمر بالغ الأهمية لتعظيم الإنتاج وتلبية متطلبات تصنيع أشباه الموصلات بكميات كبيرة.