أنبوب مطلي بـ TaC

تكمن قوة الأنبوب المطلي بـ Semicorex TaC في المزيج التآزري بين المادة الأساسية والطلاء المتخصص:

مؤسسة الجرافيت المتناحية عالية النقاء:يتكون قلب الأنبوب المطلي بـ TaC من الجرافيت المتناحي عالي النقاء، المشهور بتوصيله الحراري الممتاز، والتمدد الحراري المنخفض، والمقاومة المتأصلة للصدمات الحرارية. يوفر هذا الأساس منصة قوية ومستقرة قادرة على تحمل التقلبات السريعة في درجات الحرارة والأحمال الحرارية العالية المميزة لمعالجة أشباه الموصلات.

كربيد التنتالوم---درع من المتانة والخمول:يعمل طلاء TaC المطبق على CVD على تحويل ركيزة الجرافيت، مما يضفي صلابة استثنائية، ومقاومة التآكل، والخمول الكيميائي. تعمل هذه الطبقة الواقية كحاجز ضد الغازات العدوانية والبلازما والأنواع التفاعلية التي يتم مواجهتها أثناء تصنيع أشباه الموصلات، مما يضمن السلامة الهيكلية للأنبوب وطول عمره.

يُترجم هذا المزيج الفريد من المواد إلى مجموعة من المزايا التي تعتبر بالغة الأهمية لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة:

مقاومة درجات الحرارة لا مثيل لها:يتميز TaC بواحدة من أعلى نقاط الانصهار بين جميع المواد المعروفة، متجاوزًا حتى كربيد السيليكون (SiC). تسمح هذه المقاومة القصوى لدرجات الحرارة للأنبوب المطلي بـ TaC بالعمل بشكل موثوق في العمليات التي تتطلب درجات حرارة تتجاوز 2500 درجة مئوية، مما يتيح إنتاج أجهزة أشباه الموصلات من الجيل التالي بميزانيات حرارية متطلبة.

درجة نقاء فائقة للتحكم في العمليات الحرجة:يعد الحفاظ على بيئات العمليات الأصلية أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات. يضمن استخدام الجرافيت عالي النقاء وعملية طلاء CVD الدقيقة الحد الأدنى من إطلاق الغازات أو توليد الجسيمات من الأنبوب المطلي بـ TaC، مما يمنع التلوث الذي قد يضر بأسطح الرقاقة الحساسة وأداء الجهاز.

المقاومة الكيميائية التي لا تتزعزع:يوفر الخمول الكيميائي للأنبوب المطلي بـ TaC مقاومة استثنائية لمجموعة واسعة من الغازات المسببة للتآكل والأيونات التفاعلية وبيئات البلازما المستخدمة بشكل شائع في عمليات أشباه الموصلات مثل النقش والترسيب والتليين. يُترجم هذا الاستقرار الكيميائي القوي إلى عمر أطول للأنبوب، وتقليل متطلبات الصيانة، وانخفاض التكلفة الإجمالية للملكية.

متانة ميكانيكية محسنة لإطالة عمر الخدمة:توفر قوة الترابط القوية بين طلاء TaC وركيزة الجرافيت، إلى جانب الصلابة المتأصلة للأنبوب المطلي بـ TaC، مقاومة استثنائية للتآكل والتآكل والضغط الميكانيكي. تُترجم هذه المتانة المحسنة إلى عمر خدمة أطول وتقليل وقت التوقف عن العمل للاستبدال، مما يؤدي إلى تحسين كفاءة العملية والإنتاجية.