مؤيد قاعدة طلاء TaC

يلعب الداعم الأساسي لطلاء Semicorex TaC دورًا رئيسيًا في الدعم الميكانيكي، ولكن أيضًا في التحكم في تدفق العملية. وهو يقع أسفل الحامل الرئيسي أو حامل الرقاقة عند استخدامه في المفاعل. فهو يثبت المجموعة الدوارة في مكانها، ويحافظ على التوازن الحراري في القاعدة، ويدير تدفقًا صحيًا للغاز أسفل منطقة الرقاقة. يتم تصنيع دعامة قاعدة طلاء TaC لكلا الوظيفتين، بما في ذلك قاعدة جرافيت مصنوعة بشكل بناء ومغطاة بطبقة كثيفة موحدة من كربيد التنتالوم (TaC) عن طريق ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

يعد كربيد التنتالوم واحدًا من أكثر المواد المتاحة صهرًا وخاملة كيميائيًا، مع نقطة انصهار تزيد عن 3800 درجة مئوية ومقاومة كبيرة للتآكل والتآكل. عندما يتم استخدام CVD للإنتاجطلاءات تاكوالنتيجة النهائية هي طلاء ناعم وكثيف يحمي ركيزة الجرافيت من الأكسدة في درجات الحرارة العالية وتآكل الأمونيا وتفاعلات السلائف المعدنية العضوية. في حالة التعرض لفترة طويلة للغازات المسببة للتآكل أو التدوير الحراري الشديد المرتبط بالعمليات الفوقي، فإن دعامة القاعدة تدوم، مما يحافظ على الاستقرار الهيكلي والكيميائي.

من خلال أداء العديد من الوظائف الحيوية، يعمل طلاء CVD TaC كحاجز وقائي، مما يمنع أي تلوث كربوني محتمل من طلاء الجرافيت والركيزة من دخول بيئة المفاعل أو التأثير على الرقاقة. ثانيًا، يوفر الخمول الكيميائي، ويحافظ على سطح نظيف ومستقر في كل من الأجواء المؤكسدة والمختزلة. وهذا يمنع التفاعلات غير المرغوب فيها بين غازات المعالجة وأجهزة المفاعل، مما يضمن بقاء كيمياء الطور الغازي تحت السيطرة والحفاظ على تجانس الغشاء.

يوفر توصيلًا حراريًا وانبعاثًا عاليًا، مما يسمح أيضًا لمؤيد القاعدة بتوصيل الحرارة وإشعاعها بكفاءة. سيؤدي هذا أيضًا إلى تحسين توحيد درجة الحرارة بشكل عام على المستقبِل والرقاقة مع تدرجات حرارة منخفضة تنتج تباينًا أقل في نمو البلورات. بالإضافة إلى ذلك، يوفر TaC مقاومة أكسدة استثنائية، مما يضمن بقاء الانبعاثية ثابتة أثناء العمليات طويلة المدى، مما يضمن معايرة دقيقة لدرجة الحرارة وأداء عملية قابل للتكرار.

الطلاء تاكيوفر توصيلًا حراريًا وانبعاثًا عاليًا، مما يسمح أيضًا لمؤيد القاعدة بتوصيل الحرارة وإشعاعها بكفاءة. سيؤدي هذا أيضًا إلى تحسين توحيد درجة الحرارة بشكل عام على المستقبِل والرقاقة مع تدرجات حرارة منخفضة تنتج تباينًا أقل في نمو البلورات. بالإضافة إلى ذلك، يوفر TaC مقاومة أكسدة استثنائية، مما يضمن بقاء الانبعاثية ثابتة أثناء العمليات طويلة المدى، مما يضمن معايرة دقيقة لدرجة الحرارة وأداء عملية قابل للتكرار.

يتمتع دعامة القاعدة المطلية بطبقة TaC بمتانة ميكانيكية عالية، مما يزيد من عمر التشغيل. تعمل عملية طلاء CVD، على وجه التحديد، على إنشاء رابطة جزيئية صلبة بين طبقة TaC وركيزة الجرافيت لمنع التصفيح أو التشقق أو التقشير من الإجهاد الحراري. ولذلك فهو مكون يستفيد من مئات الدورات ذات درجات الحرارة العالية دون تدهور.