طلاء TaC نصف القمر العلوي

إن Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon هو مكون مصمم خصيصًا لتحقيق عمليات الفوقي عالية الكفاءة في عالم إنتاج أشباه الموصلات. تم تصميم قطعة Halfmoon العلوية المطلية بـ TaC لتتناسب بسلاسة مع المفاعلات الفوقية، مما يوفر متانة واستقرارًا استثنائيين في ظل الظروف القاسية.

يوفر طلاء TaC مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة المرتفعة، مما يجعل طلاء TaC العلوي نصف القمر مثاليًا للبيئات الحرارية المطلوبة للعمليات الفوقي. وهذا يضمن الأداء المتسق وطول العمر، مما يقلل من تكرار عمليات الاستبدال ووقت التوقف عن العمل. يمكن لطبقة نصف القمر العلوية المطلية بـ TaC أن تتحمل الغازات المسببة للتآكل والمواد الكيميائية المستخدمة بشكل شائع في النمو الفوقي، مما يحمي سلامة المكون ويحافظ على نقاء العملية.

يعمل طلاء TaC الناعم والموحد على تحسين جودة الطبقات الفوقي عن طريق تقليل العيوب والشوائب. وهذا يساهم في ارتفاع معدلات الإنتاجية والخصائص الإلكترونية الفائقة لأجهزة أشباه الموصلات. يؤدي الجمع بين المقاومة الحرارية والكيميائية إلى إطالة العمر التشغيلي لـ TaC Coating Upper Halfmoon، مما يوفر حلاً فعالاً من حيث التكلفة للحفاظ على إنتاجية عالية وكفاءة في تصنيع أشباه الموصلات.

التطبيقات:

عمليات ترسيب البخار الكيميائي عالي الحرارة (CVD).

كربيد السيليكون (SiC) ونيتريد الغاليوم (GaN) Epitaxy

المواصفات الفنية:

المواد: طلاء كربيد التنتالوم (TaC).

نطاق درجة الحرارة: حتى 2200 درجة مئوية

المقاومة الكيميائية: ممتازة ضد HF وHCl والغازات المسببة للتآكل الأخرى

الأبعاد: قابلة للتخصيص لتناسب نماذج مفاعلات محددة

يعد Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon مكونًا أساسيًا لتحقيق طبقات فوقية عالية الجودة مع كفاءة محسنة وتقليل مخاطر التلوث. إن خصائص المواد المتقدمة والهندسة الدقيقة تجعلها من الأصول القيمة في صناعة أشباه الموصلات، مما يدعم إنتاج الأجهزة الإلكترونية من الجيل التالي.