بوتقة كربيد التنتالوم

تم تصنيع بوتقة كربيد التنتالوم من سيميكوركس بدقة من الجرافيت، ثم يتم تغليفه بعد ذلك بكربيد التنتالوم (TaC)، وهو مزيج يوفر أداءً فائقًا في بيئة درجة الحرارة العالية والمتطلبة كيميائيًا لنمو بلورات كربيد السيليكون.

كربيد التنتالوم عبارة عن مادة خزفية مقاومة للحرارة معروفة بصلابتها الاستثنائية ومقاومتها للمواد الكيميائية وقدرتها على الحفاظ على السلامة الهيكلية في درجات حرارة عالية للغاية. من خلال طلاء بوتقة الجرافيت بمادة TaC، ترث بوتقة كربيد التنتالوم هذه الخصائص المفيدة، مما يعزز بشكل كبير من أدائها وعمرها الافتراضي. يعمل طلاء TaC كحاجز وقائي، حيث يمنع الجرافيت من التفاعل مع مادة SiC أو الغازات الأخرى الموجودة أثناء عملية النمو. وهذا يضمن أن البوتقة تحافظ على سلامتها ولا تقدم أي ملوثات يمكن أن تؤثر على جودة بلورات SiC.

تتمتع Tantalum Carbide Crucible بالقدرة على العمل في درجات الحرارة المرتفعة المطلوبة لنمو بلورات SiC. تنمو بلورات SiC عادةً عند درجات حرارة تتجاوز 2000 درجة مئوية، ويعد الحفاظ على درجات الحرارة المرتفعة باستمرار أمرًا بالغ الأهمية لإنتاج بلورات عالية الجودة. يمكن لبوتقة الجرافيت المطلية بـ TaC أن تتحمل هذه الظروف القاسية دون أن تتشوه أو تتحلل، مما يوفر بيئة مستقرة لعملية نمو البلورات. يعد هذا الاستقرار ضروريًا لتحقيق الحجم البلوري المطلوب والنقاء والخصائص الهيكلية اللازمة لتطبيقات أشباه الموصلات.

تتمتع بوتقة كربيد التنتالوم بمقاومة كيميائية قوية، مما يجعلها ضرورية لنمو بلورات SiC. طوال عملية النمو، يتم إدخال غازات مختلفة وأنواع متفاعلة للمساعدة في تكوين بلورات SiC. يمكن أن تكون هذه البيئات شديدة التآكل، مما يشكل خطرًا على السلامة الهيكلية للبوتقة. تعمل طبقة TaC على حماية الجرافيت بشكل فعال من هذه العناصر المسببة للتآكل، مما يضمن بقاء البوتقة سليمة وفعالة أثناء العملية. لا تعمل هذه المقاومة للهجوم الكيميائي على إطالة عمر البوتقة فحسب، بل تساهم أيضًا في الكفاءة الشاملة وفعالية التكلفة لعملية نمو البلورات.