أشرطة Teflon Semicorex هي ناقلات رقاقة PTFE عالية النقاء مصممة للمعالجة الآمنة وخالية من التلوث في البيئات الكيميائية المسببة للتآكل. اختر semicorex للدقة الرائدة في الصناعة ، وجودة موثوقة ، وحلول قابلة للتخصيص مدعومة بخبرة في أنظمة معالجة أشباه الموصلات.*
أشرطة تفلون semicorex هي ناقلات رقاقة عالية الأداء مصممة خصيصًا للاستخدام في البيئات الكيميائية المتطلبة حيث تكون النقاء والمقاومة الكيميائية والاستقرار الحراري أمرًا ضروريًا. مصنوعة من بوليتلفلورو إيثيلين عالي النقاء (PTFE) ، تستخدم هذه الكاسيت على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، والحفر الرطب ، والتنظيف الكيميائي ، والتطبيقات الأخرى حيث التعرض للمواد الكيميائية العدوانية للغاية هو روتين. تجعلها طبيعتها غير التفاعلية مثالية للتعامل مع شرائح حساسة مثل رقائق السيليكون ، والألواح الزجاجية ، وغيرها من المكونات الدقيقة دون إدخال تلوث أو جسيمات في العملية.
في عمليات مختلفة لتصنيع أشباه الموصلات ، مثل الطباعة الحجرية ، والحفر ، وزرع أيون ، تلعب الكاسيت دورًا في نقل النافوس ونقلها بين الأجهزة المختلفة. قد تحتوي معدات العمليات المختلفة على متطلبات واجهة مختلفة للأشرطة لضمان استلام شركات الناقل وتوضعها بدقة.
من منظور المواد والتصميم ، يتم استخدام المواد المقاومة للحرارة ، وتتمتع بخصائص ميكانيكية ممتازة ، والاستقرار الأبعاد ، ودائم ، ومضادة للثبات ، وانخفاض التغذية ، وانخفاض هطول الأمطار ، والقابلة لإعادة التدوير. تستخدم أحجام الرقاقة المختلفة ، وعقد العملية ، والعمليات مواد مختلفة. المواد العامة هي PFA ، PTFE ، PP ، PEEK ، PES ، PC ، PBT ، PEI ، COP ، إلخ.
توفر أشرطة تفلون مقاومة كيميائية فائقة في البيئات باستخدام حمض الهيدروفلوريك وحمض النيتريك وحمض الكبريتيك وغيرها من التآكل القوي. على عكس المواد التقليدية مثل البولي بروبيلين أو الفولاذ المقاوم للصدأ ، لا يتحلل PTFE ؛ لا يتضخم لا توجد مواد في الحمامات الكيميائية القاسية. لذلك ، يتم ضمان الأداء على مدار فترات طويلة ، وبالتالي موثوقية أشرطة الكاسيت لخطوط الإنتاج عالية الإنتاجية والبيئات النظيف للغاية. تعني متانتها انخفاض احتياجات الصيانة وتردد الاستبدال ، وبالتالي تقليل تكاليف التشغيل على المدى الطويل.
تفلون أشرطة تفلون تظهر الاستقرار الحراري العالي جدا. يمكنهم بسهولة تحمل درجات الحرارة من -200 درجة مئوية إلى +260 درجة مئوية ، وينطبق على العمليات المبردة وكذلك لعمليات درجة الحرارة العالية. حتى وضعت في غرف التجفيف الساخنة أو الحمامات الكيميائية الباردة ، لا تفقد الأشرطة قوتها الهيكلية ؛ إنهم لا يشوهون أو يتكثفون ، مما يضمن أن يظل الرقاقات محتجزة بأمان أثناء المعالجة. تساهم مرونة درجة الحرارة هذه بشكل كبير في معالجة التحكم والتوحيد ، والتي تعتبر ضرورية لتصنيع أشباه الموصلات وتصنيع MEMS.
خاصية بنفس القدر من الأهم من أشرطة تفلون هي سطحها الخامل وغير القصير. لا يسمح PTFE بطبيعته بامتصاص الجزيئات والمخلفات الكيميائية ، وبالتالي تقليل مخاطر التلوث في بيئات غرفة النظافة. يجب أن يقترن هذا بإنهاء سطح أملس يسمح بالشطف بسهولة وتجفيف سريع ، وبالتالي نتائج أنظف ونتيجة أسرع في أوقات الدورة. في معالجة أشباه الموصلات ، حيث يمكن أن يكون سبب العيوب حتى الملوثات المجهرية ، فإن مستوى النظافة والختام الكيميائي إلزامي.
يتم صنع كل كاسيت بدقة إلى التحمل الضيق الحجم ، مما يضمن محاذاة رقاقة ثابتة وتباعد أثناء نقلها ووضعها في السائل. يساعد شكلها المصمم بسهولة على التدفق الكيميائي السريع والصرف ، مما يزيد من أسعار الصرف الكيميائي ويحسن التنظيف أو الحفر على سطح الرقاقة. تتوفر الكاسيت بأحجام قياسية للرقائق 4 بوصة و 6 بوصات و 8 بوصات ، مع توفر خيارات التخصيص لتناسب أبعاد الركيزة المحددة ، وعدد القمار ، ومتطلبات المناولة.
تم تصميم Teflon Cassettes ، المصممة للتوافق مع المقاعد الرطبة الآلية وأنظمة معالجة الرقاقة الآلية ، بسهولة في معظم إعدادات إنتاج أشباه الموصلات. تلبي البناء القوي والتشطيب من الدرجة النظيفة المتطلبات الصارمة للبيئات المعتمدة من ISO. تخضع جميع أشرطة الفحص الشامل ويتم تنظيفها مسبقًا في المياه الفائقة لتلبية معايير النظافة المطلوبة لإنتاج إلكترونيات الدقيقة المتقدمة. يمكن توفير شهادات المطابقة وتتبع المواد الكاملة لضمان الامتثال لبروتوكولات ضمان الجودة.