قوارب رقاقة الكوارتز العمودية

في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، يجب أن تتوافق مكونات أشباه الموصلات في غرفة التفاعل مع معايير النظافة العالية الصارمة. بخلاف ذلك، حتى الشوائب أو الملوثات ذات الحجم الصغير أو النانو يمكن أن تسبب ضررًا لا يمكن إصلاحه لأداء وإنتاجية أجهزة أشباه الموصلات.

قوارب رقاقة الكوارتزيتم تركيبها بشكل عام عموديًا في غرف التفاعل ذات درجة الحرارة العالية مثل أفران الانتشار، وأفران الأكسدة، وأفران التلدين، حيث يجب أن تكون على اتصال مباشر بالرقائق. يتم تصنيع قوارب رقاقة الكوارتز العمودية الخاصة بشركة Semicorex من مواد كوارتز عالية النقاء لتلبية متطلبات النظافة العالية هذه. يعمل هذا الاختيار الحكيم للمواد على تجنب تلوث الرقاقات الناتج عن المواد المتفاعلة المنبعثة من قوارب الرقاقات أثناء عملية التصنيع.

في صناعة أشباه الموصلات، لا يتعين على قوارب الرقاقة الخضوع لدورات التدفئة والتبريد المتكررة فحسب، بل يجب أيضًا أن تتحمل التآكل الناتج عن غازات المعالجة على مدار فترة طويلة من الزمن. الكوارتز العمودي Semicorexرقاقةتُظهر القوارب ثباتًا استثنائيًا للأبعاد في ظروف التشغيل الصعبة للدورة الحرارية الثابتة بسبب ثباتها الحراري المتأصل. تمنع هذه الخصائص الحرارية الفائقة بشكل كبير تشوه الرقاقة والأضرار الناجمة عن التدهور الدقيق أو التشوه الهيكلي لقوارب رقاقة الكوارتز العمودية. والأكثر من ذلك، بفضل خمولها الكيميائي العالي، يمكن لقوارب رقاقة الكوارتز العمودية أن تكون مقاومة للتفاعل مع الغازات المسببة للتآكل مثل الأكسجين وبخار الماء وكلوريد الهيدروجين والأمونيا. تقلل هذه الخاصية بشكل كبير من احتمالية أن يؤدي التآكل الكيميائي إلى الإضرار بالسلامة الهيكلية لقوارب رقاقة الكوارتز العمودية.

بالإضافة إلى مزايا الأداء المذكورة أعلاه، تُظهر قوارب رقاقة الكوارتز العمودية من Semicorex أيضًا قدرة تنافسية ممتازة في دقة الأبعاد والتصميم الهيكلي. يتم تصنيع كل جزء منها باستخدام تقنيات التصنيع الدقيقة. يضمن التحكم الدقيق في الأبعاد تحديد موضع الرقاقة بدقة، وتقليل الخدوش والشقوق الناتجة عن الإزاحة أو الاصطدامات أثناء التحميل والمعالجة والتفريغ.