جرة جرس كوارتز مقاس 15 بوصة

تم تصميم جرة الكوارتز الجرسية Semicorex مقاس 15 بوصة لمواجهة هذه التحديات، مما يوفر حلاً عالي الأداء لمعالجة الدفعات المتوسطة والكبيرة الحجم حيث يكون التوحيد الحراري ونقاء المواد ضروريين لتحقيق أقصى قدر من الإنتاجية. في صناعات أشباه الموصلات والأغشية الرقيقة، تعد سلامة غرفة المعالجة أمرًا بالغ الأهمية. مع زيادة أحجام الرقاقات وتقلص العقد، تصبح الحاجة إلى بيئة نظيفة ومستقرة وخاملة كيميائيًا غير قابلة للتفاوض.

1. علم المواد: نقاء السيليكا المنصهرة

أساس جرة الجرس لدينا هو درجة نقاء عاليةالسيليكا المنصهرة (الكوارتز). على عكس الزجاج القياسي، يتكون الكوارتز بالكامل تقريبًا من SiO2، مما يوفر خصائص فريدة حيوية لتصنيع أشباه الموصلات:

تلوث منخفض للغاية: تتم معالجة الكوارتز الخاص بنا لتقليل العناصر المعدنية النزرة (مثل Al وFe وNa وK) إلى مستوى جزء في المليار (ppb). وهذا يمنع انتشار الشوائب إلى الرقاقة أثناء دورات درجة الحرارة العالية، مما يضمن السلامة الكهربائية للأجهزة.

مقاومة فائقة للصدمات الحرارية: يمتلك الكوارتز معامل تمدد حراري (CTE) يقترب من الصفر. وهذا يسمح لجرة الكوارتز الجرسية مقاس 15 بوصة بمقاومة الارتفاع السريع في درجة الحرارة والتبريد دون التعرض لخطر الكسر أو التعب الهيكلي - وهو متطلب بالغ الأهمية للمفاعلات عالية الإنتاجية.

الخمول الكيميائي الممتاز: يتميز الكوارتز بمقاومة عالية لمعظم الأحماض (باستثناء حمض الهيدروفلوريك) وغازات العمليات المسببة للتآكل، مما يضمن عدم تحلل الحجرة أو إطلاق الغازات أثناء دورات الحفر أو الترسيب العدوانية.

2. الهندسة الدقيقة والوضوح البصري

يوفر الجرس الجرسي الكوارتز مقاس 15 بوصة الحد الأقصى للحجم وديناميكيات تدفق الغاز المثالية لغرض معالجة الرقاقات المجمعة. يحتوي الجرة على مدخنة رأسية (تُعرف أيضًا باسم الرقبة) تم تصميمها على النحو الأمثل لتوفير مدخل للغاز أو المساعدة في استخراج الغاز من خلال فراغ من الجرة، وهو ما يظهر في الصورة أعلاه.

الشفافية البصرية - المستوى العالي لنقلمادة الكوارتزلإصدار أطوال موجية في مناطق الأشعة فوق البنفسجية والمرئية والأشعة تحت الحمراء من الطيف يسمح بالمعالجة في الوقت الفعلي بالإضافة إلى استخدام سخانات المصابيح الخارجية للمعالجة الحرارية السريعة (RTP).

أسطح مانعة للتسرب معززة - يحتوي عنق الجرة على ختم أبيض غير شفاف تم تطويره خصيصًا (يُشار إليه أيضًا باسم المفصل الأرضي) الذي يوفر واجهة محكمة الغلق (مختومة بالهواء) ومحكم التفريغ بين صفيحة المفاعل والوعاء.

التلدين لتخفيف التوتر - تخضع جميع الجرار الجرسية الكوارتز مقاس 15 بوصة لعملية تلدين حرارية صارمة لتخفيف الضغط الميكانيكي الداخلي الذي تم وضعه على الجرة من خلال العملية الميكانيكية للنفخ أو تشكيل الجرة، وبالتالي تقليل فرصة فشل الجرة تلقائيًا عند وضعها تحت حمل فراغ.

3. التطبيقات الحاسمة في مصنع أشباه الموصلات

تم تصميم الجرة الجرسية الكوارتز مقاس 15 بوصة خصيصًا للتكامل في العمليات ذات القيمة العالية التالية:

Epitaxy السيليكون: توفير وعاء شفاف وغير تفاعلي لزراعة طبقات السيليكون أحادية البلورة عالية الجودة.

الأمراض القلبية الوعائية المحسنة بالبلازما (PECVD): تحمل بيئة البلازما المسببة للتآكل مع الحفاظ على قوة عازلة عالية.

الانتشار والأكسدة: بمثابة غرفة نظيفة وعالية الحرارة لتشكيل أكاسيد البوابة والمحرك المنشط.

إنتاج تشكيل الألياف الضوئية: مثالي للترسيب عالي النقاء لطبقات السيليكا في تصنيع الزجاج المتخصص.

في Semicorex، نتعامل مع كل وعاء جرس كقطعة من معدات المختبرات الدقيقة. تتضمن عمليتنا ما يلي: مصادر صارمة للمواد بدرجة إلكترونية تم التحقق منهاكوارتزسبائك. التصنيع المتقدم الذي يدمج مهارات نفخ الزجاج التقليدية مع الطحن والتلميع الذي يتم التحكم فيه باستخدام الحاسب الآلي؛ والفحص الشامل باستخدام الضوء المستقطب للكشف عن الإجهاد المتبقي وقياس التداخل بالليزر لإجراء فحوصات دقيقة للأبعاد.