جرة الجرس الكوارتز أشباه الموصلات

عادةً ما يتم تصنيع جرة الكوارتز شبه الموصلة من Semicorex من الكوارتز المصهور الاصطناعي، وهي مادة معروفة بنقائها الاستثنائي، ومقاومتها لدرجات الحرارة العالية، وخصائص التمدد الحراري المنخفضة. وهذا يضمن أن الغرفة لا تدخل الملوثات أو الشوائب في عملية تصنيع أشباه الموصلات.

عادة ما يكون الجرس الكوارتز لأشباه الموصلات أسطوانيًا أو على شكل قبة، مع قاعدة مسطحة أو منحنية قليلاً لاستيعاب رقائق أو ركائز أشباه الموصلات. إنها تتميز بآلية إغلاق محكمة الغلق مصممة بدقة، مثل الفلنجة أو الختم الدائري، للحفاظ على فراغ أو جو متحكم فيه داخل الغرفة أثناء المعالجة.

توفر الجرة الجرسية المصنوعة من الكوارتز شبه الموصلة وضوحًا بصريًا ممتازًا، مما يسمح للمشغلين بمراقبة العمليات بصريًا داخل الحجرة دون المساس بالدقة أو إحداث تداخل. يتمتع الكوارتز بمقاومة عالية للهجوم الكيميائي من معظم الأحماض والقواعد والمذيبات المستخدمة بشكل شائع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. وهذا يضمن سلامة الغرفة ويمنع تلوث الركائز.

يتمتع الكوارتز بنقطة انصهار عالية وثبات حراري، مما يسمح لجرس الكوارتز شبه الموصل بمقاومة درجات الحرارة المرتفعة التي تتم مواجهتها أثناء عمليات الترسيب أو التلدين دون تشوه أو تدهور.

التطبيقات:

الترسيب: تُستخدم الجرار الجرسية لأشباه الموصلات في تقنيات الترسيب المختلفة مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، وترسيب الطبقة الذرية (ALD) لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركائز أشباه الموصلات بدقة وتوحيد.

النقش: يتم استخدامها في عمليات النقش بالبلازما لإزالة المواد بشكل انتقائي من رقائق أشباه الموصلات، وإنشاء أنماط وهياكل معقدة بدقة عالية وقابلية للتكرار.

التلدين: يتم استخدام الجرار الجرسية في عمليات التلدين لإخضاع رقائق أشباه الموصلات للمعالجة الحرارية الخاضعة للرقابة، وتسهيل التبلور، وتفعيل إشابة، وتخفيف الضغط في الأفلام المترسب.