AL2O3 فراغ الخنازير

Semicorex al₂o₃ chucks هي مكون خزفي دقيق دقيق تم تطويره للتعامل مع الويفر ، والتثبيت ، وتطبيقات المعالجة في صناعة أشباه الموصلات. مصنوع من الألومينا السوداء مع مسامية محكومة بنسبة 35 ٪ -40 ٪ ، وهي وسيلة مستقرة للغاية ونظيفة وموثوقة لعمليات الامتزاز بالفراغ. يجمع Chuck بين المعالجة الخزفية للركيزة على سطح وظيفي باستخدام تقنيات التصنيع المتقدمة لتوفير أداء شفط ثابت للرقاقة الهشة للمستخدم أثناء خطوات العملية الحرجة.

أسودألومينا (al₂o₃)؛ له توازن فريد من القوة الميكانيكية ، والصلابة ، والمقاومة الكيميائية عند مقارنتها بالمعادن والبوليمرات. تم تحسين بنية microporous للمسامية التي يتم التحكم فيها لتوفير توزيع فراغ ثابت عبر سطح الفراغ. يقلل التوزيع الفراغي المتسق في جميع أنحاء مساحة السطح الكاملة لسكاك رقاقة تركيزات الإجهاد الموضعية ، مما يحد من خطر تشويه الرقاقة ، وتقطيع الحافة ، والكسر. مع استمرار تصنيع الرقاقة في التوسع في قطره ، وتصبح الهندسة والأجهزة أكثر هشاشة ، وتصبح العائد العملية وتحسين موثوقية معالجة الويفر متطلبات حاسمة.

تمثل المسامية الخاضعة للرقابة من 35-40 ٪ خاصية رئيسية لهذا الفراغ. يمكن لشبكة المسام المحسنة أن تقلل من الاضطراب أثناء الإخلاء الجوي من منطقة المسام ، والحفاظ على قوة الحجز مع الحفاظ على القوة الميكانيكية والمتانة. على النقيض من ذلك ، تستخدم المشابك الميكانيكية لوحات تسبب نقاط الإجهاد الموضعية وتعمل ضد الخواص الميكانيكية للرقاقة الفردية. لذلك ، فإن سطح الألومينا الدقيقة متفوقة في عقد الرققات مسطحة وغير متناقضة خلال الأساليب الميكانيكية. وهذا يجعل مرشحًا مثاليًا لعمليات أشباه الموصلات عالية التقنية التي تستفيد من تسطيح الرقاقة والحجز السلس ، بما في ذلك الطباعة الحجرية ، والحفر ، والترسب ، والقياس.

من منظور حراري ، فإن مادة الألومينا السوداء لديها ممتازة هذه القدرة على الحفاظ على الاستقرار الأبعاد خلال درجة الحرارة المرتفعة. مع وجود معامل منخفض من التمدد الحراري ، فإن تشاك الفراغ قادر على البقاء دقيقًا حتى أثناء دورات التدفئة والتبريد ، وهو جانب حاسم بسبب تقلبات درجة الحرارة السريعة التي تحدث غالبًا في بيئات معالجة الرقاقة. تزيد صلابة وارتداء هذه السيراميك أيضًا من طول عمر تشاك ، مما يقلل من تواتر الصيانة لمشغلي المعدات ، وخفض التكلفة الإجمالية للملكية.

الصمود الكيميائي للسيراميك الألومينا هو خاصية كبيرة أخرى. في FABs أشباه الموصلات ، تحتاج مكونات المعدات إلى تحمل المواد الكيميائية العدوانية أو عوامل التنظيف أو بيئات البلازما دون تدهور. تحتوي الألومينا السوداء على خصائص ممتازة لمقاومة التآكل ، والأكسدة ، و/أو التلوث السطحي ، وبالتالي تحتفظ بالهيكل والاستقرار الهيكلي/الفازوي خلال فترات دورة التشغيل متحمس. تعني هذه الخاصية المعمول بها أيضًا أن الرقاقات لا تخضع للتلوث الذي يحمي الدائرة من كيفية أداء تلك الأجهزة ، كما تثق في بروتوكولات غرفة النظافة.

لا يقتصر الأمر على ظهور al₂o₃ chucks الأداء الوظيفي الممتاز ، بل يتم التحكم في النهاية السطحية بإحكام. يتم إنشاء النهاية باستخدام عمليات تصنيع وتلميع عالية الدقة التي تسفر عن تسطيح موحد ونعومة بحيث يمكن الاحتفاظ بالرقائق الحساسة بدون خدوش أو أضرار سطحية. تعطي المسامية ذات الهندسة الشديدة للمادة توازنًا مناسبًا بين الشفط وحماية السطح ، مما يتيح قوة عقد كافية على الرقاقة ، مع تجنب أي ضرر للركائز الرقيقة الهشة.

من الناحية التشغيلية ، تعد خنازير الفراغ AL₂O₃ مكونًا مهمًا في تصنيع أشباه الموصلات المعاصرة. إنه يسهل الأتمتة ، مما يسمح للرقائق بالتقاط ووضعها وتوافقها ومعالجتها وتلبية متطلبات العملية بشكل موثوق. يساعد اللون الأسود للألومينا أيضًا ويوفر مزايا براغماتية عن طريق تقليل انعكاس الضوء أثناء التفتيش البصري وعمليات القياس ، خاصةً في حالة استخدام المعدات البصرية عالية الدقة.

إن الجمع بين تقنية السيراميك المتقدمة وتصميمًا تم النظر فيه جيدًا ، في خمانة الفراغ ، وهو حل طويل الأمد وعالي الأداء لمصنعي أشباه الموصلات. يحسن الفراغ AL₂O₃ الإنتاجية من خلال انخفاض فقدان الرقاقة ، ويقلل من التوقف عن العمل بسبب المتانة ، ويعزز استقرار العملية من خلال توفير قوة عقد فراغ متسقة.

semicorex al₂o₃ chucks مصنوعة من الأسود microporousالألوميناهو أكثر من مجرد لاعبا اساسيا. إنه عامل تمكين حاسم لتصنيع أشباه الموصلات الدقيقة. من خلال مسامية محسّنة وخصائص مادية استثنائية وأداء قوي ، فإنه يضمن التعامل مع الرقاقة الموثوقة عبر عمليات التصنيع الأكثر تطلبًا. بالنسبة للمصنعين الذين يسعون إلى تحقيق عائد أعلى ، وتحسين كفاءة العملية ، وأداء المعدات المتفوق ، فإن فراغ ألومينا الأسود هو خيار لا غنى عنه.