Chucks Alumina المسامية

تشكل الألومينا المسامية شبه مصممة خصيصًا لأغلب الرقاقات الحساسة. يوفر تصميمهم المسامي ضمانًا لتوزيع الفراغ المتسق عبر سطح Chuck ، مما يضمن انخفاض الإجهاد الموضعي ، ومساعدات في منع تقطيع الحافة والكسر. التثبيت الميكانيكي (الصلب أو غير ذلك) ليس فعالًا مثل الشبكة الدقيقة التي تحمل حتى رقائق حساسة دون الإجهاد الميكانيكي المقيد بشكل مفرط مع إصلاح الويفر بأمان ، حيث يمنع البنية الدقيقة التآكل وتوفر تعليقًا لطيفًا. تعد الحاجة إلى امتصاص موحد عبر سطح Chuck بأكمله أمرًا بالغ الأهمية للرقائق التي تكون أكبر وأرق يمكن أن تتحمل إجهادًا أقل بكثير أثناء المناولة الآلية وأثناء تنفيذ خطوات معالجة عالية الدقة.

تم تحسينه للمسامية 35-40 ٪ ، ويقوم Chuck بتطوير شبكة من المسام بين الاتصالات التي تعمل على إخلاء الهواء مع توفير قوة ميكانيكية كافية للاحتفاظ بالرقبة في مكانها ضد قوى العملية. هذا يعني أن قوة القابض للتفريغ تظل مستقرة أثناء تحريك الرقائق ، حتى في الخلافة السريعة ، مع إجراء تسلسل عملية معقد. يوفر الامتزاز داخل شبكة microporous استقرارًا أكثر من مجرد خلق اختلافات في الضغط داخل نظام الفراغ.

الألومينا السوداء (al₂o₃) ، هي نفسها المادة النهائية لأنها صعبة ومقاومة للارتداء وخاملة كيميائيًا. لن يؤدي إلى تحطيم أي سطح ملموس ولا يتأثر من خلال دورات متكررة من الرقاقة (امتصاص/ تفريغ/ تفريغ). الأسودالألوميناهو مستقر الأبعاد ، وبالتالي لن يتغير على الرغم من التغيرات في درجة الحرارة التي تحدث بشكل طبيعي أثناء العملية (التدفئة والتبريد) أو في البيئة.

المقاومة الكيميائية هي ميزة رئيسية أخرى للألومينا السوداء. يمكن أن يعمل Chuck في بيئات التنظيف والبلازما والحفر دون المساس بسلالته الهيكلية. يمنع الصدفة من تلوث سطح الرقاقة ، مما يضمن نقاء العملية العالية والالتزام بمعايير الغرفة النظيفة.

يوفر هيكل microporous أيضًا سطحًا داعمًا يخفف من تركيز الإجهاد على رقائق رقيقة وهشة. بالترادف مع تسطيح السطح الدقيق والانتهاء من السطح الأملس ، ستقليل خطيفة الألومينا التي يسهل اختراقها إلى الحد الأدنى من حدوث الأجزاء الدقيقة والخدوش التي يمكن أن تهدد سلامة الرقاقة في يدها.

السيراميك الألوميناله صلابة رائعة ، قوة ميكانيكية عالية ، معامل حراري منخفض للتوسع ، والاستقرار الحراري الممتاز مما يجعلها مادة عملية لتطبيق أشباه الموصلات الدقيقة. أيضا ، فإن الامتداد الكيميائي الخاص به يعني أنه يمكن أن يقاوم الأحماض والقلويات والبلازما ، في حين أن خصائص مقاومة التآكل تضمن المتانة ، هذه المزايا تجعل الألومينا من المواد المفضلة لخطوط الفراغ الدقيقة وتوفر كل من الموثوقية وقابلية التنبؤ في الأداء.

في الختام ، تم تصميم خنازير الألومينا التي يسهل اختراقها لتوفير معالجة رقاقة موحدة وقابلة للبقاء على قيد الحياة. يوفر هيكل الألومينا الأسود الدقيق حتى امتصاص الفراغ (التوحيد) مع تقليل الإجهاد الميكانيكي وتقليل تلف الرقاقة. بصفته تشاكًا ، تساعد المسامية الكبيرة والمماثلة مع الخصائص الحرارية والميكانيكية والكيميائية المعلقة ، على تحسين سلامة الرقاقة وقيمة وموثوقية التشغيل في ظروف التصنيع القاسية. إن المزيج الممتاز من معالجة قوية وموحدة وآمنة يمكن أن يوفرها أدوات الألومينا التي يسهل اختراقها للمصنعين ببساطة نادرة وفريدة من نوعها.