ألومينا الذراع السيراميك

Arm Semicorex Alumina Ceramic Arm هو مكون هندسي تم تطويره على أعلى المواصفات لتطبيقات أشباه الموصلات. مصنوعة من الألومينا عالي النقاء (al₂o₃) ، وهي ذراع آلية تتميز بمجموعة فريدة من القوة الميكانيكية والاستقرار الحراري والمقاومة الكيميائية. لا تم تصميم الذراع فقط لاستخدامها في معالجة الرقاقة بمفردها ، ولكنها تحتاج أيضًا إلى توفير دعم العملية في مواقع التصنيع المتقدمة. يجب أن يضمن أيضًا نقل الرقاقات ووضعها ومعالجتها دون تلوث أو تلف ؛ تحسين الغلة وموثوقية العملية.

الألوميناهي واحدة من السيراميك الفني الذي يجد أوسع استخدام في مجال السيراميك الفني. تشتهر الألومينا بصدمتها ومقاومة التآكل والاستقرار في البيئات العدوانية. بالنسبة لأهداف الذراع السيراميك لإدارة معالجة الرقاقة دون إدخال تلوث ، يمكن أن يستغل خصائص الألومينا وتقديم مستوى أعلى من المقاومة للتآكل كنتيجة لنقاهته العالية وحجم الجسيمات ؛ لذلك ، لن يولد جزيئات مفرطة خلال حركاتها المتكررة ، إما مع رقائق أو مع ركائز أشباه الموصلات من أي نوع آخر.  تحد الكثافة والمسامية المنخفضة التي تستضيفها أيضًا من إمكانات كسر الجسيمات ، وتضمن أنها تلبي متطلبات التنظيف فائقة لتطوير أشباه الموصلات دون الانتقاء من النظافة المطلوبة للتعامل مع الأجهزة الفرعية.

الألوميناتمتلك الاستقرار الحراري الاستثنائي بالإضافة إلى قوتها الميكانيكية. يمكن أن يتحمل ذراع السيراميك ألومينا درجات حرارة متطرفة دون أن تربط أو تكسير أو فقدان القوة. هذه الخاصية تجعلها مثالية لدمج أي خطوة عملية تتضمن التعرض لدرجات حرارة مرتفعة ، مثل الانتشار أو الأكسدة أو خطوات الصلب. سيكون لدى الرقاقات الموثوقية المحسنة للنقل في بيئة عملية صعبة حيث تحتفظ بالسلامة الميكانيكية تحت ركوب الدراجات الحرارية.

المقاومة الكيميائية هي إيجابية أساسية أخرى لذراع السيراميك الألومينا. في تصنيع أشباه الموصلات ، غالبًا ما يتم إجراء العلاجات على رقائق تشمل الأحماض القوية والقلويات وغيرها من المواد الكيميائية العدوانية. في حين أن المكونات المعدنية قد تتآكل أو تشويه الشوائب ، فإن الألومينا خاملة كيميائيًا ، مما يحمي سلامة كل من الذراع والرقصات التي يتعامل معها. لذلك يطيل الامتداد عمر المكون مع تقليل إمكانية التلوث أثناء خطوات العملية الحرجة مثل التنظيف الرطب أو ترسب البخار الكيميائي.

تم تصميم ذراع السيراميك ألومينا مع التركيز على التوافق والدقة. يتم تصنيع كل ذراع لتحمل ضيقة الأبعاد ، وضمان محاذاة وثيقة دقيقة للحركة والتوافق مع معدات معالجة الويفر الآلية والأنظمة الآلية. يتميز الانتهاء من السطح الملساء والمصقول بواجهة احتكاك منخفضة مع الرقاقة التي تقلل من فرصة خدش الرقاقة ، وهو أمر ضروري لسلامة الرقاقة/النظافة البيئية وتقليل معدل العيوب. تضمن هذه التحملات المهندسة أن الذراع تعمل بحرية في بيئة إنتاجية عالية الخطى وتتيح كل من سير عمل أشباه الموصلات البشرية والأتمتة بالكامل للذراع.

يصل ذراع السيراميك الألومينا إلى ما هو أبعد من مجرد الأداء الكيميائي والميكانيكي ويؤثر على كفاءة التشغيل وتوفير التكاليف على مستويات متعددة. تتيح الطبيعة الدائمة للسيراميك للذراع أن تتفوق على المواد المركبة مثل المواد البلاستيكية أو الألومنيوم من حيث عمر التصميم تحت التحميل الميكانيكي المتكرر ، وبالتالي يقلل من كمية التوقف عن العمل و/أو تكاليف الاستبدال المعنية. تتضمن القدرة على تحمل البيئات القاسية النظافة البيئية ، مع إنتاج انقطاع أقل تصنيعًا مما يؤدي إلى تحسين إنتاج الرقاقة المتسق ، أي العائد ، وفي نهاية المطاف أقل مما يؤدي إلى ارتفاع العائد على الاستثمار (العائد على الاستثمار) لمصنعو أشباه الموصلات.

خيارات استخدامالسيراميك الألوميناالذراع لعمليات أشباه الموصلات لا حصر لها تقريبًا - بدءًا من رقائق الحركة بين المقاعد الرطبة وأفران الانتشار وغرف الترسيب إلى أدوات الفحص وأدوات القياس التي تستخدم ركائز. لا تسمح براعة هذا المنتج باستخدامه لتطبيقات معالجة الرقاقة فحسب ، بل مزيد من المواقف الأتمتة التي تكون فيها الدقة والنظافة والموثوقية مطلوبة أيضًا. تتحرك صناعة أشباه الموصلات بشكل لا يطاق نحو العقد الأصغر وزيادة التعقيد داخل تصنيع الأجهزة ، ومع استمرار الصناعة في المطالبة بتحديد حلول معالجة أفضل والتي لا يمكن الاعتماد عليها ، فإن ذراع الروبوتية السيراميك يخلق مسارًا واضحًا للأمام.