ذراع كذا

ذراع Semicorex SIC هو جهاز متخصص تم تطويره للتعامل مع الرقاقات بأقصى قدر من الموثوقية والدقة. تظهر أذرع نقل الرقاقة ، مثل ذراع SIC في معدات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة مثل المفاعلات الفوقية ، وأنظمة زرع الأيونات ، والمعالجة الحرارية ، وما إلى ذلك. شيدت باستخدام الرقم العاليكربيد السيليكونجنبا إلى جنب مع خصائص المواد الخام من 

الاستقرار الحراري والكيميائي الاستثنائي ، والتحكم الممتاز للآلات ، اجعل ذراع SIC حلاً موثوقًا به لتصنيع أشباه الموصلات المستقبلية.

ARM SIC لها أدائها الاستثنائي في البيئات الحرارية المتطرفة. في النمو الفوقي وكذلك العمليات الأخرى ذات درجة الحرارة العالية ، يمكن أن تتعرض مكونات معالجة الويفر للحرارة المستمرة التي تتدهور بسهولة خصائص المادة التقليدية. يحتفظ كربيد السيليكون على حد سواء بالقوة ودقة الأبعاد (التحمل الأبعاد المحدودة) في درجات حرارة عالية ، مما يضمن أن يبقى الرقائق جالسة بدقة أثناء النقل أو المعالجة ، والقضاء فعليًا على اختلال الرقاقة ، والورم المشوه ، أو التلوث. السيراميك مع الأداء الاستثنائي لمنتج SIC ؛ مثل ذراع SIC لا يتأكسد ، يشوه مثل المعدن ، ولا يوجد خصائص أداء الفشل مثل السيراميك ، وهي تشققات الإجهاد.

المقاومة الكيميائية هي خاصية أخرى مميزة لذراع كذا. في بيئات أشباه الموصلات ، تعتبر الغازات التآكل والمواد الكيميائية التفاعلية والتعرض للبلازما شائعة. إن ذراع المناولة التي تتدهور في ظل هذه الظروف لا تخاطر فقط بالفشل الميكانيكي ولكن أيضًا تلوث الرقاقات.كربيد السيليكونيوفر سطح خامل كيميائيا يقاوم هذه الظروف العدوانية. والنتيجة هي مكون موثوق به للغاية يحافظ على سلامة السطح والنظافة ، ويحمي رقائق من الشوائب التي يمكن أن تضعف أداء الجهاز. هذه المتانة تقلل بشكل كبير من وقت تعطل المعدات ، ويقلل من تردد الاستبدال ، ويعزز تناسق العملية.

إلى جانب مرونة المواد ، تلبي ذراع SIC أيضًا درجة عالية من دقة الآلات. يتطلب معالجة الرقاقة دقة للميكرومتر ؛ يمكن أن تسبب التحملات التي هي خارج المواصفات بشكل طفيف تغييرات في الهندسة أو الانتهاء من السطح التي يمكن أن تسبب مخاطر أعلى في كسر الرقاقة أو اختلال الرقاقة. باستخدام تقنيات التصنيع الحديثة ، يتم إنتاج أذرع SIC مع التحمل المناسبة ، التسطيح ، والأسطح الملساء. يعد كونك تطبيقات عالية الدقة مثالية لضمان وضع ثابت للرقائق والأداء القابل للتكرار خلال الآلاف من دورات المناولة ، وهو مثالي لإنتاج أشباه الموصلات ذات الحجم الكبير الذي يتطلب مواصفات.

التنوع هو ميزة أخرى من الأسلحة sic. تتطلب أدوات وعمليات أشباه الموصلات المختلفة أذرعًا من الأشكال الهندسية والأحجام والتصاميم المختلفة. نظرًا لأنه يمكن تعديل Arms SIC لدمج خصائص التصميم المحددة هذه ، يمكن أن تتلاءم بسهولة مع مجموعة واسعة من الأنظمة ، سواء كانت أداة epitaxy أو قطعة من معدات زرع الأيونات أو مفاعل المعالجة الحرارية. يمكن أيضًا تعديل التشطيبات السطحية والتصميمات الهيكلية والتشطيبات والهندسة لتوفير أفضل أداء فيما يتعلق بالتطبيق المعين.

الأسلحة SIC لديها أيضا كفاءة تشغيلية. المتانة العالية والموثوقية في SIC يعني أن البدائل نادرة وتقليل وقت التوقف ؛ كلاهما يعني انخفاض تكاليف الصيانة طويلة الأجل. بالنسبة للإنتاج ، فإن أشباه الموصلات Fabs هذا يعني تحقيق إنتاجية أفضل ، وإمكانية زيادة الاستقرار في الإنتاج ، وعائدات الأجهزة العليا.

شهدت ARMS SIC استخدامًا واسع النطاق منذ تقديمها في مجتمع أشباه الموصلات على وجه التحديد في أنظمة نقل الرقاقة حيث يتعين عليهم تحمل كل من الضغوط الميكانيكية وظروف المعالجة الصارمة للغاية. سواء أكان ذلك ينقلون مفاعلات epitaxy ، أو الاحتفاظ بها في مكانها أثناء زرع أيون ، أو نقلها من خلال بيئات المعالجة الغازية أو الحرارية ، فإن ذراع SIC يوفر معالجة رقاقة آمنة ودقيقة وخالية من التلوث. الموثوقية واضحة من خلال إدخال أذرع SIC في محفظة معدات أشباه الموصلات الحديثة.

ذراع siC semicorex هو مزيج ناجح من الخصائص المرغوبة للمتقدممادة كربيد السيليكون، هندسة الدقة والاستقرار عالية درجة الحرارة. مزيج من الاستقرار الكيميائي ، والقدرة على التشكيل والتصنيع الدقيق يجعل ذراع SIC مناسبة لتوفير معالجة رقاقة موثوقة في أصعب عمليات الموصلات. ذراع SIC قابلة للتخصيص ودائمًا للمزايا المستهلكة للمستخدم النهائي للمساعدة في معالجة الويفر وتقديم فوائد في أداء التشغيل على المدى الطويل فيما يتعلق بالكفاءة والعائد واستقرار العملية. يبحث المصنعون الذين يبحثون عن أنظمة معالجة الرقاقة الحديثة والمتطورة أو حتى من حلول معالجة الصناديق والاعتماد عليها على ذراع SIC كأنظمة نقل ومعالجة رقاقة مثبتة وقادرة على المتطلبات المتقدمة لصناعة Semiconductor.