بفضل الموصلية الحرارية الاستثنائية وخصائص توزيع الحرارة ، فإن هيكل برميل Semicorex لمفاعل Epitaxial لأشباه الموصلات هو الخيار الأمثل للاستخدام في عمليات LPE وغيرها من تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات. يوفر طلاء SiC عالي النقاء حماية فائقة في درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل.
يعتبر هيكل برميل Semicorex لمفاعل Epitaxial لأشباه الموصلات هو الخيار المفضل لتطبيقات حساسات الجرافيت عالية الأداء التي تتطلب مقاومة استثنائية للحرارة والتآكل. يوفر طلاء SiC عالي النقاء والكثافة الفائقة والتوصيل الحراري حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة ، مما يضمن أداءً موثوقًا به ومتسقًا حتى في أكثر البيئات تحديًا.
تم تصميم هيكل البرميل الخاص بنا لمفاعل Epitaxial لأشباه الموصلات لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن هيكل البرميل الخاص بنا لمفاعل فوق المحور أشباه الموصلات.
معلمات هيكل البرميل لمفاعل فوق المحور أشباه الموصلات
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ملامح هيكل برميل لمفاعل فوق المحور أشباه الموصلات
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.