بفضل الموصلية الحرارية الاستثنائية وخصائص توزيع الحرارة، يعد هيكل Semicorex Barrel Structure لمفاعل أشباه الموصلات الفوقي الخيار الأمثل للاستخدام في عمليات LPE وتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات الأخرى. يوفر طلاء SiC عالي النقاء حماية فائقة في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل.
يعد هيكل Semicorex Barrel لمفاعل أشباه الموصلات الفوقي هو الاختيار الأمثل لتطبيقات مستقبلات الجرافيت عالية الأداء التي تتطلب مقاومة استثنائية للحرارة والتآكل. يوفر طلاء SiC عالي النقاء والكثافة الفائقة والتوصيل الحراري حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة، مما يضمن أداء موثوقًا ومتسقًا حتى في البيئات الأكثر تحديًا.
تم تصميم الهيكل الأسطواني لمفاعل أشباه الموصلات الفوقي لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن الهيكل الأسطواني لمفاعل أشباه الموصلات الفوقي.
معلمات هيكل البرميل لمفاعل أشباه الموصلات الفوقي
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات الهيكل البرميلي لمفاعل أشباه الموصلات الفوقي
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.
- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.