نظام Epi لنظام Semicorex Barrel Susceptor Epi لـ LPE Epitaxy هو منتج عالي الجودة يوفر التصاقًا فائقًا للطلاء ونقاوة عالية ومقاومة أكسدة عالية الحرارة. إن المظهر الحراري المتساوي ونمط تدفق الغاز الرقائقي والوقاية من التلوث يجعله خيارًا مثاليًا لنمو الطبقات اللاصقية على رقائق الويفر. فعاليته من حيث التكلفة وقابليته للتخصيص تجعله منتجًا ذا قدرة تنافسية عالية في السوق.
إن نظام Epi للحصص البرميلية الخاص بنا لـ LPE Epitaxy هو منتج مبتكر للغاية يوفر أداء حراريًا ممتازًا ، حتى المظهر الحراري ، والتصاق طلاء فائق. نقاوتها العالية ومقاومتها للأكسدة عند درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل تجعلها منتجًا موثوقًا به للغاية للاستخدام في صناعة أشباه الموصلات. إن الوقاية من التلوث والشوائب ومتطلبات الصيانة المنخفضة تجعله منتجًا ذا قدرة تنافسية عالية في السوق.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتمتع نظام Epi لحامل البرميل الخاص بنا لـ LPE Epitaxy بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن نظام Barrel Susceptor Epi لـ LPE Epitaxy.
معلمات نظام Epi لمستقبل البرميل لـ LPE Epitaxy
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات نظام Epi لمستقبل البرميل من أجل LPE Epitaxy
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.