متقبل البرميل للمرحلة السائلة

إذا كنت بحاجة إلى مستقبل الجرافيت الذي يمكنه الأداء بشكل موثوق ومستمر حتى في البيئات الأكثر تطلبًا لدرجات الحرارة العالية والتآكل، فإن Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy هو الخيار الأمثل. يوفر طلاء كربيد السيليكون توصيلًا حراريًا ممتازًا وتوزيعًا للحرارة، مما يضمن أداءً استثنائيًا في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يعد Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy هو الاختيار الأمثل لتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب مقاومة عالية للحرارة والتآكل. يوفر طلاء SiC عالي النقاء والتوصيل الحراري الاستثنائي حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة، مما يضمن أداءً موثوقًا ومتسقًا حتى في البيئات الأكثر تحديًا.

تم تصميم جهاز Barrel Susceptor الخاص بنا للمرحلة السائلة Epitaxy لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن جهازنا البرميلي للمرحلة السائلة.

معلمات المستقبِل البرميلي لحالة الطور السائل

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونج	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300

ملامح برميل Susceptor لالمرحلة السائلة Epitaxy

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.

- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.

- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.