محسس البرميل لنبات المرحلة السائلة

يعتبر جهاز Semicorex Barrel Susceptor للطور السائل Epitaxy هو الخيار المفضل لتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب مقاومة عالية للحرارة والتآكل. يوفر طلاء SiC عالي النقاء والتوصيل الحراري الاستثنائي حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة ، مما يضمن أداءً موثوقًا به ومتسقًا حتى في أكثر البيئات تحديًا.

تم تصميم مستشعر البرميل الخاص بنا من أجل Epitaxy الطور السائل لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الجانبي الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن مستشعر البرميل الخاص بنا من أجل Epitaxy الطور السائل.

معلمات محسس البرميل لتضخم الطور السائل

ميزات محسس البرميل لنبات المرحلة السائلة

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.

- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.

- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.