فرن الفراغ CVD وCVI

يعتبر Semicorex CVD وCVI Vacuum Furnace أداة عالية الجودة مصممة لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD). تصل درجات حرارة التفاعل إلى 2200 درجة مئوية. إنها قادرة على ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك كربيد السيليكون، نيتريد البورون، الجرافين، وأكثر من ذلك. يتميز فرن CVD بتصميم قوي ومصنوع من مواد عالية الجودة، مما يضمن الموثوقية والمتانة للاستخدام طويل المدى. لديها كل من الهياكل الأفقية والرأسية.

طلب:قرص الفرامل المركب C/C، البوتقة، القالب وما إلى ذلك.

مميزات فرن التفريغ Semicorex CVD وCVI

1. تصميم قوي مصنوع من مواد عالية الجودة للاستخدام طويل الأمد؛

2. التحكم بدقة في توصيل الغاز من خلال استخدام وحدات التحكم في التدفق الشامل والصمامات عالية الجودة؛

3. مجهزة بميزات السلامة مثل الحماية من درجة الحرارة الزائدة والكشف عن تسرب الغاز لعملية آمنة وموثوقة.

4. باستخدام مناطق التحكم في درجة الحرارة المتعددة، توحيد درجة الحرارة بشكل كبير؛

5. غرفة ترسيب مصممة خصيصًا مع تأثير ختم جيد وأداء رائع ضد التلوث؛

6. استخدام قنوات ترسيب متعددة مع تدفق غاز موحد، بدون زوايا ترسيب ميتة وسطح ترسيب مثالي؛

7. معالجة للقطران والغبار الصلب والغازات العضوية أثناء عملية الترسيب

الميزات الاختيارية:

•باب الفرن: نوع الارتفاع اللولبي/الهيدروليكي/اليدوي؛ فتح متأرجح/فتح متوازي (حجم كبير)

باب الفرن)؛ دليل ضيق / حلقة قفل تلقائية ضيقة

• وعاء الفرن: مصنوع بالكامل من الفولاذ الكربوني/الطبقة الداخلية من الفولاذ المقاوم للصدأ/الفولاذ المقاوم للصدأ بالكامل

• منطقة الفرن الساخنة: لباد كربوني ناعم/ لباد جرافيت ناعم/ لباد مركب صلب/ مركبات الكربون الكلورية فلورية

•عنصر التسخين وكاتم الصوت: جرافيت مضغوط متساوي الضغط/جرافيت عالي النقاء، قوة وكثافة/جرافيت ناعم الحجم

• نظام معالجة الغاز: مقياس تدفق الحجم/الكتلة

• المزدوجة الحرارية: نوع K/نوع N/نوع C/نوع S

* يمكن تعديل المعلمات المذكورة أعلاه وفقًا لمتطلبات العملية، فهي ليست معيار القبول أو المواصفات التفصيلية. سيتم ذكر ذلك في العرض الفني والاتفاقيات.