فرن الفراغ CVD و CVI

يعتبر فرن التفريغ من Semicorex CVD و CVI أداة عالية الجودة مصممة لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD). درجة حرارة التفاعل تصل إلى 2200 درجة مئوية. إنها قادرة على ترسيب مجموعة واسعة من المواد ، بما في ذلك كربيد السيليكون ، نيتريد البورون ، الجرافين ، وأكثر من ذلك. يتميز فرن CVD بتصميم قوي ومصنوع من مواد عالية الجودة ، مما يضمن الموثوقية والمتانة للاستخدام على المدى الطويل. لديها هياكل أفقية ورأسية.

طلب:قرص الفرامل المركب C / C ، البوتقة ، العفن وغيرها.

ميزات فرن الفراغ Semicorex CVD و CVI

1. تصميم متين مصنوع من مواد عالية الجودة للاستخدام على المدى الطويل ؛

2 التحكم الدقيق في توصيل الغاز من خلال استخدام أجهزة التحكم في التدفق الشامل والصمامات عالية الجودة ؛

3. مجهزة بميزات السلامة مثل الحماية من درجات الحرارة الزائدة وكشف تسرب الغاز من أجل تشغيل آمن وموثوق ؛

4.Using متعددة مناطق التحكم في درجة الحرارة ، وتوحيد كبير في درجة الحرارة ؛

5.غرفة ترسيب مصممة خصيصًا مع تأثير ختم جيد وأداء رائع لمكافحة التلوث ؛

6. استخدام قنوات ترسيب متعددة مع تدفق غاز موحد ، دون ترسب الزوايا الميتة وسطح ترسيب مثالي ؛

7- معالجة القطران والغبار الصلب والغازات العضوية أثناء عملية الترسيب

الميزات الاختيارية:

â باب الفرن: نوع الرفع اللولبي / الهيدروليكي / اليدوي ؛ الفتح المتأرجح / الفتح المتوازي (الحجم الكبير

باب الفرن) ؛ دليل ضيق / حلقة القفل التلقائي ضيقة

â وعاء الفرن: كل الفولاذ الكربوني / الطبقة الداخلية من الفولاذ المقاوم للصدأ / كل الفولاذ المقاوم للصدأ

منطقة الفرن الساخنة: لباد الكربون الناعم / لباد الجرافيت الناعم / لباد مركب صلب / مركبات الكربون الكلورية فلورية

â عنصر التسخين ودثر: الجرافيت الضغط المتساوي / عالية النقاء والقوة والكثافة الجرافيت / الجرافيت الدقيق الحجم

• نظام الغازات: الحجم / مقياس التدفق الكتلي

المزدوجة الحرارية: نوع K / نوع N / نوع C / نوع S.

* يمكن تعديل المعلمات المذكورة أعلاه لمتطلبات العملية ، فهي ليست كمعيار قبول ، والمواصفات التفصيلية. سيتم ذكرها في العرض الفني والاتفاقيات.