يعتبر الترسيب فوق المحور من Semicorex CVD في مفاعل الأسطوانة منتجًا متينًا وموثوقًا للغاية لتنمية الطبقات اللاصقة على رقائق الويفر. مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية والنقاء العالي تجعلها مناسبة للاستخدام في صناعة أشباه الموصلات. يجعلها ملفها الحراري المتساوي ونمط تدفق الغاز الرقائقي والوقاية من التلوث خيارًا مثاليًا لنمو طبقة عالية الجودة.
إن الترسيب فوق المحور الوريدي الخاص بنا في مفاعل الأسطوانة عبارة عن منتج عالي الأداء مصمم لتقديم أداء موثوق به في البيئات القاسية. إن التصاق الطلاء الفائق ، ومقاومة الأكسدة عند درجات الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل تجعله خيارًا ممتازًا للاستخدام في البيئات القاسية. بالإضافة إلى ذلك ، يضمن المظهر الحراري المتساوي ونمط تدفق الغاز الرقائقي والوقاية من التلوث الجودة العالية للطبقة اللاصقية.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتميز الترسيب فوق المحوري للأمراض القلبية الوعائية في مفاعل البرميل بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات الترسيب فوق المحاور القلبية الوعائية في مفاعل البرميل
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ملامح الترسيب فوق المحاور القلبية الوعائية في مفاعل البرميل
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.