يعد Semicorex CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor منتجًا متينًا وموثوقًا للغاية لزراعة الطبقات الفوقية على رقائق الويفر. مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية والنقاء العالي تجعلها مناسبة للاستخدام في صناعة أشباه الموصلات. إن مظهرها الحراري المتساوي ونمط تدفق الغاز الرقائقي ومنع التلوث يجعلها خيارًا مثاليًا لنمو الطبقة الفوقية عالية الجودة.
يُعد مفاعل الترسيب الفوقي للأمراض القلبية الوعائية (CVD) الخاص بنا في مفاعل البرميل منتجًا عالي الأداء مصممًا لتقديم أداء موثوق به في البيئات القاسية. إن التصاق الطلاء الفائق، ومقاومته للأكسدة في درجات الحرارة العالية، ومقاومته للتآكل يجعله خيارًا ممتازًا للاستخدام في البيئات القاسية. بالإضافة إلى ذلك، يضمن المظهر الحراري المتساوي ونمط تدفق الغاز الرقائقي ومنع التلوث الجودة العالية للطبقة الفوقية.
في Semicorex، نركز على توفير منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتمتع جهاز الترسيب الفوقي للأمراض القلبية الوعائية في مفاعل البرميل بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نحن نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل، ونقدم منتجات ذات جودة متسقة وخدمة عملاء استثنائية.
معاملات الترسيب الفوقي للأمراض القلبية الوعائية في المفاعل البرميلي
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات الترسيب الفوقي للأمراض القلبية الوعائية في المفاعل البرميلي
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.
- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.
- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.