مع كثافته الممتازة والتوصيل الحراري ، فإن محفز البرميل المطلي بالكربيد شبه المتين من Semicorex لـ LPE هو الخيار المثالي للاستخدام في عمليات LPE وتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات الأخرى. يوفر طلاء SiC عالي النقاء حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة ، مما يجعله الخيار المفضل للحصول على نتائج موثوقة ومتسقة.
إذا كنت بحاجة إلى حساس عالي الجودة من الجرافيت يتمتع بمقاومة فائقة للحرارة والتآكل ، فلا تنظر إلى ما هو أبعد من مستشعر البرميل المطلي بـ Semicorex Durable SiC لـ LPE. يوفر طلاء كربيد السيليكون الخاص به توصيلًا حراريًا استثنائيًا وتوزيعًا للحرارة ، مما يضمن أداءً موثوقًا به ومتسقًا حتى في البيئات ذات درجات الحرارة العالية الأكثر تطلبًا.
تم تصميم مستشعر البرميل المطلي بـ SiC المتين لـ LPE لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل البرميل المطلي بالكربيد المتين من أجل LPE.
معلمات حامل البرميل المطلي بالـ SiC المتين لـ LPE
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات مستشعر البرميل المطلي بالـ SiC المتين لـ LPE
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.