بفضل كثافته الممتازة وموصليته الحرارية، يعد جهاز Semicorex المتين المصنوع من SiC-Coated Barrel Susceptor هو الخيار المثالي للاستخدام في العمليات الفوقي وتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات الأخرى. يوفر طلاء SiC عالي النقاء حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة، مما يجعله الاختيار الأمثل للحصول على نتائج موثوقة ومتسقة.
إذا كنت بحاجة إلى مستقبِل جرافيت عالي الجودة مع مقاومة فائقة للحرارة والتآكل، فلا تبحث عن أكثر من مستقبِل الأسطوانات المتين المطلي بطبقة SiC من Semicorex. يوفر طلاء كربيد السيليكون الخاص به توصيلًا حراريًا استثنائيًا وتوزيعًا للحرارة، مما يضمن أداءً موثوقًا ومتسقًا حتى في البيئات ذات درجات الحرارة العالية الأكثر تطلبًا.
تم تصميم جهاز الاسطوانة المتين المطلي بطبقة SiC لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن جهاز استقبال البراميل المتين المطلي بطبقة SiC.
معلمات قابلية الاسطوانة المتينة المطلية بـ SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات قابلية الاسطوانة المتينة المطلية بـ SiC
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.
- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.