تشاك كهرباء

يعمل جهاز Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck على مبادئ الجذب الكهروستاتيكي، مما يوفر احتجازًا موثوقًا ودقيقًا للرقاقة دون الحاجة إلى مشابك ميكانيكية أو شفط فراغي، يستخدم بشكل خاص في الحفر، وضخ الأيونات

معالجة أشباه الموصلات، وPVD، وCVD، وما إلى ذلك. أبعادها القابلة للتخصيص تجعلها قابلة للتكيف مع مجموعة واسعة من التطبيقات، مما يجعلها خيارًا مثاليًا للشركات التي تسعى إلى المرونة والكفاءة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات.

التقنية الأساسية وراء الظرف الكهروستاتيكي من النوع J-R هي قدرته على توليد قوة كهروستاتيكية بين الرقاقة وسطح ظرف الظرف. يتم إنشاء هذه القوة من خلال تطبيق جهد عالي على الأقطاب الكهربائية المدمجة داخل ظرف الظرف، مما يؤدي إلى تحفيز الشحنات على كل من الرقاقة وظرف الظرف، وبالتالي إنشاء رابطة كهروستاتيكية قوية. لا تعمل هذه الآلية على تثبيت الرقاقة في مكانها بشكل آمن فحسب، بل تقلل أيضًا من الاتصال الجسدي بين الرقاقة والظرف، مما يقلل من التلوث المحتمل أو الضغط الميكانيكي الذي قد يؤدي إلى تلف مواد أشباه الموصلات الحساسة.

يمكن لـ Semicorex إنتاج منتجات مخصصة، من 200 مم إلى 300 مم أو حتى أكبر، اعتمادًا على متطلبات العملاء. من خلال تقديم هذه الخيارات القابلة للتخصيص، يوفر ESC من النوع J-R أقصى قدر من المرونة لمجموعة من عمليات أشباه الموصلات، بما في ذلك حفر البلازما، وترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، وزرع الأيونات.

فيما يتعلق بالمواد، فإن ظرف الكهرباء الساكنة E-Chuck مصنوع من مواد سيراميكية عالية الجودة، مثل الألومينا (Al2O3) أو نيتريد الألومنيوم (AlN)، المعروفة بخصائصها العازلة الممتازة، وقوتها الميكانيكية، واستقرارها الحراري. توفر هذه السيراميك للظرف المتانة اللازمة لتحمل الظروف القاسية لتصنيع أشباه الموصلات، مثل درجات الحرارة المرتفعة والبيئات المسببة للتآكل والتعرض للبلازما. بالإضافة إلى ذلك، يتم صقل سطح السيراميك إلى درجة عالية من النعومة لضمان الاتصال الموحد مع الرقاقة، مما يعزز القوة الكهروستاتيكية ويحسن أداء العملية بشكل عام.

تم تصميم جهاز E-Chuck الكهروستاتيكي أيضًا للتعامل مع التحديات الحرارية التي تتم مواجهتها بشكل شائع في تصنيع أشباه الموصلات. تعد إدارة درجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية أثناء عمليات مثل الحفر أو الترسيب، حيث يمكن أن تتقلب درجة حرارة الرقاقة بسرعة. توفر المواد الخزفية المستخدمة في ظرف الظرف توصيلًا حراريًا ممتازًا، مما يساعد على تبديد الحرارة بكفاءة والحفاظ على درجة حرارة ثابتة للرقاقة.

تم تصميم ظرف الكهرباء الساكنة E-Chuck مع التركيز على تقليل تلوث الجسيمات، وهو أمر بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات حيث يمكن أن تؤدي الجزيئات المجهرية إلى عيوب في المنتج النهائي. يقلل السطح الخزفي الأملس للظرف من احتمالية التصاق الجسيمات، ويقلل الاتصال الجسدي المنخفض بين الرقاقة والظرف، بفضل آلية التثبيت الكهروستاتيكية، من خطر التلوث. تتضمن بعض موديلات ESC من النوع J-R أيضًا طلاءات أو معالجات سطحية متقدمة تعمل على طرد الجزيئات ومقاومة التآكل، مما يعزز طول عمر ظرف الظرف وموثوقيته في بيئات غرف الأبحاث.

باختصار، يعتبر الظرف الكهروستاتيكي من النوع J-R عبارة عن حل متعدد الاستخدامات وموثوق به لحمل الرقاقة يوفر أداءً استثنائيًا عبر مجموعة واسعة من عمليات تصنيع أشباه الموصلات. إن تصميمها القابل للتخصيص وتقنية التثبيت الكهروستاتيكية المتقدمة وخصائص المواد القوية تجعلها خيارًا مثاليًا للشركات التي تسعى إلى تحسين التعامل مع الرقاقات مع الحفاظ على أعلى معايير النظافة والدقة. سواء تم استخدامه في حفر البلازما أو الترسيب أو زرع الأيونات، يوفر ESC من النوع J-R المرونة والمتانة والكفاءة المطلوبة لتلبية الاحتياجات المطلوبة لصناعة أشباه الموصلات اليوم. بفضل قدرته على العمل في وضعي Coulomb وJohnsen-Rahbek، والتعامل مع درجات الحرارة المرتفعة، ومقاومة تلوث الجسيمات، فإن ESC من النوع J-R يمثل عنصرًا حاسمًا في السعي لتحقيق إنتاجية أعلى ونتائج عملية محسنة.