تشاك كهرباء ESC

يعمل ظرف Semicorex Electrostatic Chuck ESC على مبدأ الالتصاق الكهروستاتيكي، باستخدام تيار مباشر عالي الجهد (DC) مطبق على طبقة السيراميك العازلة. تسمح هذه التقنية بالربط الآمن للرقائق أو المواد الأخرى أثناء المعالجة، مما يضمن الاستقرار والدقة خلال مراحل التصنيع المختلفة.

عندما يتم تطبيق جهد تيار مستمر عالي على ظرف الظرف، تهاجر الأيونات المشحونة داخل الطبقة العازلة الخزفية وتتراكم على سطحها. يؤدي هذا إلى إنشاء مجال إلكتروستاتيكي قوي بين ظرف الظرف والمنتج المراد معالجته. إن الجذب الكهروستاتيكي المتولد قوي بما يكفي لتثبيت الرقاقة في مكانها، مما يضمن بقائها غير متحركة حتى أثناء العمليات المعقدة وعالية الدقة. يعد هذا التثبيت الآمن أمرًا بالغ الأهمية، لأنه يساعد على تقليل الحركات الدقيقة والاهتزازات، مما قد يضر بجودة وسلامة الرقائق المعالجة. إن القدرة على تأمين الرقائق بأقل قدر من الاتصال الميكانيكي تمنع أيضًا حدوث أضرار مادية، وهي ميزة واضحة مقارنة بطرق التثبيت التقليدية.

تم تجهيز الظرف الكهروستاتيكي من النوع J-R ESC بأقطاب كهربائية مدمجة ضرورية لإنشاء هذا الالتصاق الكهروستاتيكي. يتم وضع هذه الأقطاب الكهربائية داخل ظرف الظرف لتوزيع القوة الكهروستاتيكية بالتساوي عبر سطح الرقاقة أو المواد الأخرى التي تتم معالجتها. ويضمن هذا التوزيع المتساوي ضغطًا ثابتًا، وهو أمر ضروري للحفاظ على التماثل أثناء العمليات المعقدة مثل الحفر وزرع الأيونات والترسيب. إن الالتصاق الدقيق الذي يوفره جهاز Electrostatic Chuck ESC يسمح له باستيعاب المواصفات المطلوبة لتصنيع أشباه الموصلات الحديثة.

بالإضافة إلى وظيفته الأساسية المتمثلة في الالتصاق، يتميز الظرف الكهروستاتيكي ESC بنظام متطور للتحكم في درجة الحرارة. يشتمل الظرف على عناصر تسخين مدمجة مصممة لتنظيم درجة حرارة المنتج الجاري معالجته. يعد التحكم في درجة الحرارة عاملاً حاسماً في تصنيع أشباه الموصلات، حيث أن التغيرات الطفيفة في درجات الحرارة يمكن أن تؤثر على نتيجة العملية. يوفر جهاز Electrostatic Chuck ESC تحكمًا في درجة الحرارة متعدد المناطق، مما يسمح بتسخين أو تبريد أقسام مختلفة من الرقاقة بشكل مستقل. وهذا يضمن الحفاظ على درجة الحرارة بشكل ثابت عبر كامل سطح الرقاقة، مما يعزز نتائج المعالجة الموحدة ويقلل من خطر التلف الحراري أو الاعوجاج.

يعد استخدام مواد عالية النقاء في بناء الظرف الكهروستاتيكي ESC ميزة أخرى ملحوظة. تم تصميم المواد المختارة لهذا الظرف لتقليل التلوث بالجسيمات، وهو أمر بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات. حتى الجزيئات الصغيرة يمكن أن تسبب عيوبًا في الهياكل المجهرية التي يتم تصنيعها، مما يؤدي إلى انخفاض الإنتاجية واحتمال فشل المنتج. باستخدام مواد عالية النقاء، يقلل الظرف الكهروستاتيكي ESC من خطر إدخال الملوثات إلى بيئة المعالجة، وبالتالي يدعم الإنتاج عالي الجودة.

تشاك الكهروستاتيكي ESC مقاوم لتآكل البلازما. في العديد من عمليات أشباه الموصلات، وخاصة في الحفر والترسيب، يتعرض ظرف الظرف لبيئات البلازما التفاعلية. مع مرور الوقت، يمكن أن يؤدي هذا التعرض إلى تدهور المواد المستخدمة في ظرف الظرف، مما يؤثر على أدائه وعمره الافتراضي. تم تصميم الظرف الكهروستاتيكي ESC خصيصًا لمقاومة تآكل البلازما، مما يسمح له بالحفاظ على سلامته الهيكلية وأدائه حتى في بيئات المعالجة القاسية. تُترجم هذه المتانة إلى عمر خدمة أطول، مما يقلل الحاجة إلى عمليات الاستبدال المتكررة ويقلل وقت التوقف عن العمل في خط الإنتاج.

تعتبر الخواص الميكانيكية للظرف الكهروستاتيكي ESC ذات أهمية بالغة أيضًا. تم تصنيع ظرف الظرف وفقًا لتفاوتات شديدة للغاية، مما يضمن احتفاظه بالشكل الدقيق والأبعاد المطلوبة لتطبيقاته المحددة. يتم استخدام تقنيات تصنيع عالية الدقة لتحقيق التسطيح والنعومة المطلوبة للسطح، والتي تعد ضرورية لضمان الالتصاق الكهروستاتيكي وتقليل مخاطر إتلاف الرقائق الرقيقة. إن القوة الميكانيكية للظرف مثيرة للإعجاب بنفس القدر، مما يسمح له بمقاومة الضغوط الفيزيائية المفروضة أثناء عمليات درجات الحرارة العالية والضغط العالي دون تشويه أو فقدان قدرته على تثبيت الرقاقة بشكل آمن.