أنابيب الفرن لـ LPCVD

عملية LPCVD هي عملية ترسيب للأغشية الرقيقة يتم إجراؤها تحت ظروف فراغ منخفضة الضغط (تتراوح عادة من 0.1 إلى 1 تور). يمكن أن تساعد ظروف التشغيل ذات الضغط المنخفض في تعزيز الانتشار الموحد للغازات الأولية عبر سطح الرقاقة، مما يجعلها مثالية للترسيب الدقيق للمواد بما في ذلك Si₃N₄، وpoly-Si، وSiO₂، وPSG، وبعض الأفلام المعدنية مثل التنغستن.

أنابيب الفرنهي المكونات الأساسية لـ LPCVD، والتي تعمل كغرف إنشاء مستقرة لمعالجة رقائق LPCVD وتساهم في توحيد الفيلم المتميز وتغطية الخطوات الاستثنائية وجودة الفيلم العالية لرقائق أشباه الموصلات.

مزايا أنابيب الفرن Semicorex لـ LPCVD

1. أداء الختم موثوق

يتم تصنيع أنابيب الفرن Semicorex الخاصة بـ LPCVD باستخدام تقنية الطباعة ثلاثية الأبعاد، وتتميز بهيكل متكامل وسلس. هذا الهيكل المتكامل الخالي من الضعف يتجنب اللحامات ومخاطر التسرب المرتبطة بعمليات اللحام أو التجميع التقليدية، مما يضمن إحكام أفضل للعملية.  تعتبر أنابيب الفرن Semicorex الخاصة بـ LPCVD مناسبة بشكل خاص لعمليات LPCVD ذات الضغط المنخفض ودرجة الحرارة العالية، والتي يمكن أن تتجنب بشكل كبير تسرب غاز المعالجة وتسرب الهواء الخارجي.

2. خصائص حرارية ممتازة

تم تصنيع أنابيب الفرن Semicorex الخاصة بـ LPCVD من مواد خام عالية الجودة من فئة أشباه الموصلات، وتتميز بموصلية حرارية عالية ومقاومة ممتازة للصدمات الحرارية. هذه الخصائص الحرارية المتميزة تجعل أنابيب فرن Semicorex الخاصة بـ LPCVD تعمل بثبات عند درجات حرارة تتراوح من 600 إلى 1100 درجة مئوية وتوفر توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة للمعالجة الحرارية للرقاقة عالية الجودة.

3. رقابة صارمة على النظافة

تتحكم شركة Semicorex في نظافة أنابيب الفرن بدءًا من مرحلة اختيار المواد. إن استخدام المواد الخام عالية النقاء يمنح أنابيب فرن Semicorex لـ LPCVD محتوى شوائب منخفضًا لا مثيل له. يتم التحكم في مستوى الشوائب لمادة المصفوفة أقل من 100 جزء في المليون ويتم الاحتفاظ بمادة طلاء CVD SiC أقل من 1 جزء في المليون. بالإضافة إلى ذلك، يخضع كل أنبوب فرن لفحص نظافة صارم قبل التسليم لمنع تلوث الشوائب أثناء عملية LPCVD.

4. حماية طلاء موحدة وكثيفة

من خلال ترسيب البخار الكيميائي، يتم تغطية أنابيب فرن Semicorex الخاصة بـ LPCVD بإحكام بطبقة كثيفة وموحدة من SiC. هؤلاءطلاءات CVD SiCيُظهر التصاقًا قويًا، مما يمنع بشكل فعال مخاطر تقشير الطلاء وتدهور المكونات حتى عند تعرضه لدرجات الحرارة المرتفعة القاسية والظروف المسببة للتآكل.