أنابيب عملية كربيد السيليكون

تعتبر أنابيب عملية Semicorex SiC هي المكونات الهيكلية المهمة في الأكسدة، والانتشار، وRTA/RTP في عملية تصنيع أشباه الموصلات. وهو بشكل عام عبارة عن أنبوب ذو قطر كبير كمساحة لفرن المفاعل، وستتم جميع العمليات الكيميائية في الداخل. لذا فإن القوة ومقاومة الصدمات الحرارية كلاهما نقاط أساسية جدًا للمنتج.

يتم تصنيع أنابيب عملية SiC بواسطةكربيد السيليكون الملبد، يمكن أن يكون SiSiC، أو SSiC، أو RSiC، وطلاء CVD SiC على السطح، والذي سيشكل طبقة فائقة النقاء. يمكن أن يمنع التلوث بالجسيمات، الرماد، إلخ. والمواد لديها مقاومة عالية للصدمات الحرارية، لذلك يمكن لأنابيب عملية SiC أن تبقى مستقرة في مقاومة درجات الحرارة العالية، وتمنع الشوائب من الترسب في درجات حرارة عالية وبالتالي تلويث البيئة.

تم تصميم أنابيب معالجة SiC هذه للاستخدام في الأجواء التي تحتوي على غاز تفاعلي (أكسجين)، وغاز درع (نيتروجين)، وكميات قليلة من غاز كلوريد الهيدروجين، وتوفر مقاومة كيميائية متميزة، وثباتًا حراريًا، ونقاء مادة حتى 1250 درجة مئوية. تجمع أنابيب معالجة Semicorex SiC بين أحدث تقنيات الطباعة ثلاثية الأبعاد مع طلاء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لتوفير أداء فائق وعمر افتراضي في ظل الظروف الحرارية والكيميائية الأكثر تطرفًا.

يتم إنتاج أنابيب معالجة Semicorex SiC عبر عملية قولبة متكاملة للطباعة ثلاثية الأبعاد بدلاً من الأنبوب التقليدي المُشكَّل أو المجمع. تتيح عملية التصنيع هذه الحصول على هيكل مستمر ومتسق من السيراميك بدون وصلات أو مناطق ضعيفة، مما يخلق درجة عالية من التعقيد ودقة الأبعاد، مما يمكن أن يخفف من تركيزات الضغط مع تعزيز القوة الميكانيكية. علاوة على ذلك، يوفر الهيكل المتجانس إغلاقًا محكمًا للغاز الطبيعي، مما يقلل من التلوث والتسرب أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية.

الكربيد كربيدالجسم عبارة عن مادة شوائب منخفضة للغاية (< 300 جزء في المليون)، مما يوفر نقاءًا واستقرارًا ممتازين للمواد للأجواء التفاعلية. بالإضافة إلى ذلك، يتم طلاء الأنبوب بطبقة من كربيد السيليكون CVD (<5 جزء في المليون) لتحسين مقاومة التآكل وحماية السطح.

توفر Semicorex خدمة مخصصة، يمكننا إنتاجها وفقًا لرسومات العملاء، لتلبية متطلبات المواصفات المطلوبة. لذلك يمكن أن تكون أنابيب معالجة Semicorex SiC مناسبة بشكل بديل ليس فقط للأفران الأفقية، ولكن أيضًا للأفران الرأسية.