إذا كنت تبحث عن حساس للجرافيت عالي الجودة مطلي ب SiC عالي النقاء ، فإن Semicorex LPE Barrel Susceptor مع طلاء SiC هو الخيار الأمثل. الموصلية الحرارية الاستثنائية وخصائص توزيع الحرارة تجعلها مثالية للاستخدام في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات.
يُعد جهاز Semicorex LPE Barrel Susceptor مع طلاء SiC منتجًا عالي الجودة من الجرافيت مغطى ب SiC عالي النقاء ، مما يجعله الخيار المثالي للاستخدام في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل. توفر كثافته الممتازة والتوصيل الحراري توزيعًا استثنائيًا للحرارة وحماية في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتمتع جهاز LPE Barrel Susceptor مع طلاء SiC بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات LPE Barrel Susceptor مع طلاء SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات LPE Barrel Susceptor مع طلاء SiC
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التصدع والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.