سخان موكفد

تم تصنيع هذا السخان باستخدام الجرافيت عالي النقاء، مع التحكم الدقيق في مستويات الشوائب إلى أقل من 5 أجزاء في المليون (جزء في المليون). يتم بعد ذلك طلاء الجرافيت بمادة ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وكربيد السيليكون (SiC)، الذي يتميز بمستوى نقاء يتجاوز 99.99995%. يمنح هذا المزيج من المواد السخان مجموعة فريدة من الخصائص التي لا غنى عنها لتحقيق الأداء الأمثل في عمليات ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD).

واحدة من أبرز الميزات في سخان Semicorex MOCVD هو نقائه الكيميائي الاستثنائي. يقلل قلب الجرافيت عالي النقاء بشكل كبير من إدخال الملوثات أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية، مما يضمن ترسب أغشية رقيقة فائقة النظافة. يعمل طلاء CVD SiC على تعزيز هذا النقاء، مما يوفر حاجزًا قويًا ضد التفاعلات الكيميائية التي يمكن أن تؤثر على سلامة الطبقات المترسبة. يعد هذا المستوى العالي من النقاء الكيميائي أمرًا بالغ الأهمية لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات ذات الأداء والموثوقية الفائقة.

علاوة على ذلك، فإن السخان قوي للغاية وذو كفاءة حرارية، وقادر على تحمل الظروف الحرارية القاسية النموذجية لعمليات MOCVD. تساهم الخصائص المتأصلة في SiC، مثل نقطة الانصهار العالية والتوصيل الحراري، في قدرة السخان على إدارة الحرارة وتوزيعها بكفاءة. تضمن هذه الكفاءة الحرارية تسخينًا موحدًا عبر الركيزة، وهو أمر ضروري لتحقيق ترسب الفيلم المتجانس وتقليل التدرجات الحرارية التي قد تؤدي إلى حدوث عيوب.

تعد الموصلية الكهربائية مجالًا آخر يتفوق فيه سخان Semicorex MOCVD. يوفر قلب الجرافيت عالي النقاء توصيلًا كهربائيًا ممتازًا، مما يسمح للسخان بالتعامل مع الأحمال الكهربائية العالية بسهولة. هذه القدرة مهمة بشكل خاص في عمليات MOCVD التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجات الحرارة ومعدلات الترسيب. إن قدرة السخان على الحفاظ على أداء كهربائي مستقر تحت الأحمال العالية تضمن ظروف عملية متسقة وقابلة للتكرار، والتي تعتبر حيوية لتصنيع أشباه الموصلات عالية الإنتاجية.

تم تصميم السطح المسطح للسخان بدقة لتوفير انبعاثية أعلى تجاه الركيزة، مما يعزز كفاءة نقل الحرارة الإشعاعي. تضمن ميزة التصميم هذه أن الركيزة تتلقى تسخينًا موحدًا، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق أغشية رقيقة عالية الجودة ذات سماكة وخصائص متسقة. ويساهم السطح عالي الانبعاث أيضًا في الكفاءة الحرارية الإجمالية للسخان، مما يقلل من استهلاك الطاقة وتكاليف التشغيل.

من حيث المتانة، يوفر سخان Semicorex MOCVD مقاومة استثنائية للتآكل، وقابلية الأكسدة، وقوة ميكانيكية عالية. يوفر طلاء CVD SiC طبقة واقية قوية تقاوم الغازات المسببة للتآكل والمواد الكيميائية التي تواجهها عادةً عمليات MOCVD. تعمل هذه المقاومة للتآكل على إطالة العمر التشغيلي للسخان، مما يقلل من تكاليف الصيانة والاستبدال. تضمن مقاومة الأكسدة للسخان بقاءه مستقرًا ولا يتحلل حتى في درجات الحرارة المرتفعة، مما يحافظ على أدائه وسلامته الهيكلية على مدار فترات التشغيل الطويلة.

وأخيرًا، تضمن القوة الميكانيكية العالية للسخان قدرته على تحمل الضغوط الفيزيائية المرتبطة بالتدوير الحراري والتعامل مع الركيزة. تقلل هذه المتانة من مخاطر الأعطال الميكانيكية، مما يضمن التشغيل الموثوق والمستمر.