خيوط التدفئة كربيد السيليكون

يعتبر Semicorex SiC Heating Filament، وهو عنصر تسخين عالي التفريغ تم تطويره لمعالجة الرقاقات في تصنيع أشباه الموصلات الجديدة، عنصر تسخين مبتكر مصمم معجوهر الجرافيتوعالية النقاءطلاء كربيد السيليكون. تستخدم الخيوط الخاصة التوصيل الحراري للجرافيت ومتانة وحماية SiC، مما يؤدي إلى سخان مستقر وموفر للطاقة مع مرور الوقت. تم تصميم خيوط التسخين SiC لتسخين الرقائق بشكل موحد والوصول إلى المواصفات، مما يجعلها مكونًا ممتازًا لمعالجة أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية، مثل التنضيد والانتشار والتليين.

يتكون خيوط التسخين SiC من الجرافيت عالي النقاء بسبب الخصائص الحرارية للجرافيت والخواص الكهربائية عالية الجودة. يوفر الجرافيت وظيفة التسخين الرئيسية مما يتيح الاستجابة السريعة والتدفئة الفعالة تحت الحمل الكهربائي. يحمي طلاء SiC الكثيف عالي النقاء الخيوط من مصادر التلوث المحتملة. يحمي طلاء SiC الرقاقة من التلوث الكيميائي، والأكسدة، وكذلك الجسيمات الموجودة في الحجرة، مما يزيد من العمر الإنتاجي للخيوط، ويخلق بيئة غرفة نظيفة.

تتمثل الجودة الرئيسية لخيوط التسخين SiC في القدرة على توفير تسخين موحد للرقاقة. يمكن أن تؤدي التغيرات في درجات الحرارة عبر الرقاقة إلى حدوث عيوب أو فقدان المحصول. تتميز خيوط التسخين SiC بموصلية حرارية ممتازة ويضمن التصميم الصلب للخيوط أن تكون الحرارة مستقرة وأكثر تجانسًا، مما يحد من التدرجات الحرارية للتحكم المطلق في العملية.

خيوط تسخين SiC قابلة للتخصيص، ويمكن تخصيص قيمة المقاومة الكهربائية لكل خيوط لأداة العملية وبيئة التشغيل الخاصة بها. يسمح هذا التخصيص لتقنية كربيد السيليكون بالتحكم في قيمة مقاومة هندسة الفتيل وسمك الطلاء وخصائص المواد. يمكن لخيوط التسخين SiC أن تناسب العديد من تصميمات الأفران المختلفة مع العديد من أحجام الرقاقات المختلفة ووصفات المعالجة. وهذا مناسب بشكل خاص لمصنعي أشباه الموصلات، لأنه يسمح للعمليات الحالية بالعمل بشكل أكثر كفاءة ويحافظ على التوافق مع الأنظمة الموجودة بالفعل.  الميزة الثالثة للأداء هي المتانة. في عمليات أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية، يتعرض عنصر التسخين لبيئات كيميائية شديدة العدوانية ودورة حرارية متكررة.

تغطي تطبيقات خيوط التسخين Semicorex SiC مجموعة واسعة من عمليات تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. أثناء النمو الفوقي، على سبيل المثال، يوفر عنصر التسخين درجة حرارة ثابتة وموحدة للركيزة لترسيب أفلام بلورية عالية الجودة.