السيليكون أحادي البلورية قابل للفوقي

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor هو منتج جرافيت مطلي بمادة SiC عالية النقاء، والتي تتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. الحامل المطلي بكربيد السيليكون CVD المستخدم في العمليات التي تشكل الطبقة الفوقية على رقائق أشباه الموصلات، والتي تتميز بموصلية حرارية عالية، وخصائص توزيع حرارة ممتازة.
تم تصميم Susceptor السيليكون أحادي البلورية الخاص بنا لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن جهاز السيليكون أحادي البلورية الفوقي.

معلمات القابلية الفوقي للسيليكون أحادي البلورية

مميزات المستقبِل الفوقي السيليكوني أحادي البلورية

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.
- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.
- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.