أحادي البلورية السيليكون فوق المحور

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor هو منتج من الجرافيت مغطى ب SiC عالي النقاء ، والذي يتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. الحامل المطلي بكربيد السيليكون CVD المستخدم في العمليات التي تشكل الطبقة فوق المحورية على رقائق أشباه الموصلات ، والتي تتميز بموصلية حرارية عالية ، وخصائص توزيع حرارة ممتازة.
تم تصميم المستشعر الفوقي أحادي البلورية من السيليكون لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن المستشعر الفوقي أحادي البلورية للسيليكون.

معلمات أحادي البلورية السيليكون فوق المحور

ملامح أحادي البلورية السيليكون فوق المحور

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.