يعد Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor الحل الأمثل لعمليات معالجة الجرافيت والرقائق. يضمن منتجنا فائق النقاء الحد الأدنى من التلوث والأداء الاستثنائي طويل الأمد، مما يجعله خيارًا شائعًا في العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. باعتبارنا شركة رائدة في مجال توفير حاملات رقائق أشباه الموصلات في الصين، فإننا نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.
إن Susceptor السيليكون أحادي البلورية الخاص بنا هو منتج جرافيت مطلي بمادة SiC عالية النقاء، والتي تتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. يتم استخدام الحامل المطلي بكربيد السيليكون CVD في العمليات التي تشكل الطبقة الفوقية على رقائق أشباه الموصلات. فهو يتمتع بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة، وهي ضرورية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الفعالة والدقيقة.
واحدة من السمات الرئيسية لرقاقة السيليكون أحادية البلورية Susceptor هي كثافتها الممتازة. تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في بيئات العمل ذات درجات الحرارة العالية والتآكل. يتميز المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة بتسطيح سطحي عالي جدًا، وهو أمر ضروري للحفاظ على إنتاج الرقاقات عالية الجودة.
ميزة أخرى مهمة لمنتجنا هي قدرته على تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون. هذا يحسن بشكل فعال قوة الترابط، ويمنع التشقق والتصفيح. بالإضافة إلى ذلك، تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة، مما يضمن توزيع الحرارة بالتساوي أثناء عملية التصنيع.
كما أن منتجنا من رقائق السيليكون أحادية البلورية مقاومة للأكسدة والتآكل في درجات الحرارة العالية، مما يجعلها منتجًا موثوقًا ومتينًا. تضمن نقطة انصهارها العالية قدرتها على تحمل بيئة درجة الحرارة العالية المطلوبة لتصنيع أشباه الموصلات بكفاءة.
في الختام، يعد Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor حلاً فائق النقاء ومتينًا وموثوقًا لعمليات معالجة الجرافيت والرقائق. إن كثافته الممتازة وتسطيح سطحه وموصليته الحرارية تجعله مثاليًا للاستخدام في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل. نحن نفخر بتقديم منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية ونتطلع إلى الشراكة معك لتلبية جميع احتياجات حاملات رقائق أشباه الموصلات الخاصة بك.
معلمات رقاقة السيليكون أحادية البلورية
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات رقاقة السيليكون أحادية البلورية
- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب