يعتبر مستشعر رقاقة السيليكون أحادي البلورية من Semicorex هو الحل الأمثل لعمليات معالجة الويفر والرقائق الجرافيت. يضمن منتجنا شديد النقاء الحد الأدنى من التلوث وأداء استثنائي طويل العمر ، مما يجعله خيارًا شائعًا في العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. بصفتنا المزود الرائد لناقلات رقائق أشباه الموصلات في الصين ، فإننا نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.
المستشعر الفوقي أحادي البلورية للسيليكون الخاص بنا هو منتج من الجرافيت مغطى ب SiC عالي النقاء ، والذي يتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. يتم استخدام المادة الحاملة المطلية بكربيد السيليكون CVD في العمليات التي تشكل الطبقة فوق المحورية على رقائق أشباه الموصلات. لديها موصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة ، وهي ضرورية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الفعالة والدقيقة.
تتمثل إحدى السمات الرئيسية لجهاز استقبال رقاقة السيليكون أحادي البلورية في كثافته الممتازة. تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في بيئات العمل ذات درجات الحرارة العالية والتآكل. إن المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة لديه تسطيح سطح مرتفع للغاية ، وهو أمر ضروري للحفاظ على إنتاج بسكويت الويفر عالي الجودة.
ميزة أخرى مهمة لمنتجنا هي قدرته على تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون. هذا يحسن بشكل فعال قوة الترابط ، ويمنع التشقق والتشقق. بالإضافة إلى ذلك ، تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حرارة ممتازة ، مما يضمن توزيع الحرارة بالتساوي أثناء عملية التصنيع.
إن جهاز استقبال رقاقة السيليكون أحادي البلورية الخاص بنا مقاوم أيضًا للأكسدة والتآكل في درجات الحرارة العالية ، مما يجعله منتجًا موثوقًا به ودائمًا. تضمن نقطة انصهارها العالية قدرتها على تحمل بيئة درجة الحرارة العالية المطلوبة لتصنيع أشباه الموصلات بكفاءة.
في الختام ، يعتبر جهاز سيميكوركس أحادي البلورية لرقائق السيليكون حلاً فائق النقاء ودائم وموثوق به لعمليات معالجة الجرافيت والرقائق. كثافته الممتازة ، تسطيح السطح ، والتوصيل الحراري تجعله مثاليًا للاستخدام في درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل. نحن نفخر بتقديم منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية ونتطلع إلى الشراكة معك لتلبية جميع احتياجات شركة نقل رقائق أشباه الموصلات.
معلمات أحادي البلورية لجسم رقاقة السيليكون
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات جهاز استقبال رقاقة السيليكون أحادي البلورية
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب