مزايا طلاء TAC في النمو الكريستال الفردي كذا

حاليًا ، يهيمن كربيد السيليكون على الجيل الثالث من أشباه الموصلات. في هيكل تكلفة أجهزة كربيد السيليكون ، تمثل الركائز 47 ٪ ، ويساهم Epitaxy 23 ٪. يمثل هذان المكونان معًا حوالي 70 ٪ من تكلفة التصنيع الإجمالية ، مما يجعلها حاسمة في سلسلة إنتاج أجهزة كربيد السيليكون. وبالتالي ، فإن تحسين معدل العائد للبلورات المفردة كربيد السيليكون - وبالتالي تقليل تكلفة الركائز - أصبح أحد أكثر التحديات أهمية في إنتاج أجهزة SIC.

لتحضير عالي الجودة وعالي العائدركائز كربيد السيليكون، هناك حاجة إلى مواد ميدانية حرارية أفضل للتحكم بدقة في درجات حرارة الإنتاج. تتكون مجموعة Crucible الحرارية التي يتم استخدامها حاليًا من بنية جرافيت عالية النقاء ، والتي يتم استخدامها لتسخين مساحيق الكربون والسيليكون المنصهرة مع الحفاظ على درجة الحرارة. في حين أن مواد الجرافيت تظهر قوة ومعامل محددة عالية ، ومقاومة صدمة حرارية ممتازة ، ومقاومة جيدة للتآكل ، إلا أنها لديها أيضًا عيوب ملحوظة: فهي عرضة للأكسدة في بيئات الأكسجين عالية درجة الحرارة ، ولا يمكنها تحمل الأمونيا بشكل جيد ، ولها مقاومة خدش سيئة. تعيق هذه القيود نمو البلورات الفردية للسيليكون وإنتاج رقائق سليكون كاربايد الفوقية ، وتقييد تطور وتطبيقات مواد الجرافيت والتطبيقات العملية. نتيجة لذلك ، تكتسب الطلاءات عالية الحرارة مثل كربيد tantalum الجر.

مزايا المكونات المغلفة بالكربيد

استخدامالطلاء Tantalum Carbide (TAC)يمكن أن يعالج المشكلات المتعلقة بعيوب الحافة البلورية وتعزيز جودة نمو البلورة. يتماشى هذا النهج مع الهدف التقني الأساسي المتمثل في "النمو الأسرع وأثخن وأطول". تشير أبحاث الصناعة إلى أن البوتقات المغلفة بالكربيد المغلفة بالكربيد تانتالوم يمكن أن تحقق تسخينًا أكثر اتساقًا ، مما يوفر تحكمًا ممتازًا في العمليات لنمو الكريستال الفردي SIC ويقلل بشكل كبير من احتمال تكوين الكريستالات على حواف بلورات SIC. بالإضافة إلى ذلك،طلاء كربيد تانتالومتقدم فوائد رئيسية:

1. نقاط عيوب كذا

عادة ما تكون هناك ثلاث استراتيجيات رئيسية للتحكم في العيوب في بلورات واحدة. إلى جانب تحسين معلمات النمو واستخدام المواد المصدر عالية الجودة (مثل مسحوق مصدر SIC) ، يمكن أن يؤدي التحول إلى البوتقات الجرافية المطلية بالكربيلة التنتالوم أيضًا إلى تعزيز جودة البلورة بشكل أفضل.

2. تحديد حياة البوتقات الجرافيت

بقيت تكلفة بلورات SIC عالية. تمثل المواد الاستهلاكية الجرافيتية حوالي 30 ٪ من هذه التكلفة. زيادة عمر خدمة مكونات الجرافيت أمر بالغ الأهمية لخفض التكاليف. تشير البيانات من فريق أبحاث بريطاني إلى أن الطلاءات كربيد Tantalum يمكن أن تمدد عمر خدمة مكونات الجرافيت بنسبة 30-50 ٪. استنادًا إلى هذه المعلومات ، يمكن ببساطة استبدال الجرافيت التقليدي بالجرافيت المغطى بالكربيد tantalum أن يقلل من تكلفة بلورات SIC بنسبة 9 ٪ -15 ٪.

Semicorex يوفر جودة عاليةتانتالوم كربيد المغلفةالبوتقات ، المصابون ، وغيرها من الأجزاء المخصصة. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com