كيف تحل المواد المتقدمة 3 تحديات حرجة في تصميم فرن أشباه الموصلات

السباق لتقليص أحجام الترانزستور وقياس كفاءة الخلايا الشمسية يدفع معدات المعالجة الحرارية إلى حدودها. في Semicorex ، أمضينا عقدين من الزمن في التعاون مع الشركات الرائدة في أشباه الموصلات والمصنعين الكهروضوئيين لمعالجة نقطة الألم المتكررة: عندما تفشل المواد القياسية في ظل الظروف القاسية ، يمكن اختراق دفعات الإنتاج بأكملها.

الطلاء CVD: درع لمكونات العملية

تعتبر الطلاءات الترسيب للبخار الكيميائي (CVD) مثل كربيد السيليكون (SIC) وكربيد التانتالوم (TAC) ثورة في طول عمر المكون في البيئات القاسية:

طلاء كذاالمزايا:

يقاوم درجات حرارة تصل إلى 1650 درجة مئوية في الأجواء الخاملة

يقلل من تلوث الجسيمات في مفاعلات النمو الفوقية

يمتد عمر خدمة المصابين الجرافيت بمقدار 3-5x

طلاء TACفي حواجز الانتشار:

يمنع تسلل السيليكون المنصهر في البوتقات (99.999 ٪ الاحتفاظ بنقاء)

يقلل من ورق الويفر الشارن أثناء المعالجة الحرارية السريعة (RTP)

عندما تتجاوز درجات الحرارة 1600 درجة مئوية: ميزة طلاء CVD

هذا ليس سحرًا - إنه علم المواد. تودع عملية CVD الخاصة بنا على حد سواء الطلاء SIC و TAC بدقة على المستوى الذري ، مما يخلق أسطحًا:

مقاومة تآكل بخار السيليكون 3x أطول من الطلاء القياسي

الحفاظ على <0.5 ميكرون تباين عبر الأشكال الهندسية المعقدة

القضاء على طلاء delamination حتى تحت ركوب الدراجات الحرارية

الأزمة الصامتة في التوحيد الحراري

في أفران النمو الكريستال ، يمكن أن يحول توزيع درجة الحرارة غير المتناسقة سبيكة السيليكون بقيمة 250 ألف دولار إلى خردة. من خلال الابتكارات المادية مثل:

شعر الجرافيت ذو الكثافة (0.18-0.25G/CM³ تصميم التدرج)

عوازل مركبة الكربون الكربون مع تقلص أقل من 2 ٪

... لقد ساعدنا العملاء على تحقيق:

✔ ± 1.5 درجة مئوية توحيد درجة الحرارة المحورية في أنظمة Czochralski 300 مم

✔ 40 ٪ معدلات تبريد أسرع دون تكسير السند

لماذا نقاء الكوارتز يهم أكثر من أي وقت مضى

عندما تتبعت مجموعة جسيمات من Tier-1 MEMS عيوب الجسيمات إلى بطانات غرفة الحفر الخاصة بها ، فإن حل الكوارتز الخالي من الفقاعات لدينا:

تقليل تلوث المعادن بنسبة 89 ٪ (تحليل ICP-MS)

فترات الصيانة الوقائية الممتدة من 3 إلى 8 أشهر

حقق 99.999 ٪ نقاء أولي مع المحتوى المعدني القلوي <0.1PB

ما وراء المواصفات: مهندسة التطبيقات

بينما توفر المواصفات التقنية مقارنات أساسية ، يعتمد الأداء في العالم الحقيقي على:

• اقتران عملية المواد - كيف تتفاعل المكونات مع كيمياء محددة (على سبيل المثال ، CL₂ مقابل SF₆ Plasmas)

• مكتبات وضع الفشل - قاعدة البيانات الخاصة بنا لـ 1،200+ حالات فشل المكونات تُعلم اختيار المواد

• الدرجات المخصصة - ضبط مسامية/توصيل الجرافيت عبر المقاطع العرضية الجزئية

Semicorex يوفر جودة عاليةتانتالوم كربيد المغلفةوكربريد السيليكون المطليأجزاء مخصصة. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com