رؤوس أشباه الموصلات

اللوحة توزيع الغاز، غالبًا ما يشار إليها باسم "رأس الدش" ، قد يشبه رأس الدش التقليدي ، ولكن يمكن أن يصل سعره إلى مئات الآلاف ، وهو أعلى بكثير من دش الحمام النموذجي.

يتميز سطح لوحة توزيع الغاز مئات أو حتى الآلاف من الثقوب الصغيرة المرتبة بدقة ، تشبه شبكة عصبية منسوجة بدقة. يسمح هذا التصميم بالتحكم الدقيق في تدفق الغاز وزوايا الحقن ، مما يضمن أن "كل جزء من منطقة معالجة الويفر" يستحم بالتساوي في عملية الغاز. هذا لا يعزز كفاءة الإنتاج فحسب ، بل يعمل أيضًا على تحسين جودة المنتج.

لوحة توزيع الغاز جزء لا يتجزأ من العمليات الرئيسية مثل التنظيف والحفر والترسب. إنه يؤثر بشكل مباشر على دقة عمليات أشباه الموصلات وجودة المنتجات النهائية ، مما يجعلها مكونًا مهمًا في تطبيقات توزيع الغاز المختلفة.

أثناء عملية تفاعل الرقاقة ، سطحرأس الدشهو مغطى بكثافة مع micropores (فتحة 0.2-6 مم). من خلال بنية القناة المصممة بدقة ومسار الغاز ، يجب أن يمر غاز العملية الخاصة عبر آلاف الثقوب الصغيرة على لوحة الغاز الموحدة ثم يتم إيداعها بالتساوي على سطح الرقاقة. تحتاج طبقة الفيلم في مناطق مختلفة من الرقاقة إلى ضمان التوحيد والاتساق العالي. لذلك ، بالإضافة إلى المتطلبات العالية للغاية لمقاومة النظافة ومقاومة التآكل ، فإن لوحة توزيع الغاز لها متطلبات صارمة على اتساق فتحة الثقوب الصغيرة على لوحة توزيع الغاز واللباس على الجدار الداخلي للثقوب الصغيرة. إذا كان التسامح في حجم الفتحة والانحراف المعياري للاتساق كبيرًا جدًا أو أن هناك فورًا على أي جدار داخلي ، فإن سمك طبقة الفيلم المودعة سيكون مختلفًا ، مما سيؤثر بشكل مباشر على محصول العملية للمعدات.

تكون مادة لوحة توزيع الغاز في بعض الأحيان مادة هشة (مثل السيليكون الكريستالي المفرد ، والزجاج الكوارتز ، والسيراميك) ، والتي من السهل كسرها تحت عمل القوة الخارجية. إنه أيضًا ثقب عميق للغاية في غضون 50 ضعف قطر micropore ، ولا يمكن ملاحظة وضع القطع مباشرة. بالإضافة إلى ذلك ، ليس من السهل نقل حرارة القطع وإزالة الشريحة أمر صعب ، ويتم كسر بتات الحفر بسهولة بسبب انسداد الرقائق. لذلك ، فإن معالجتها وإعدادها أمر صعب للغاية.

بالإضافة إلى ذلك ، في العمليات بمساعدة البلازما (مثل PECVD والحفر الجاف) ، يحتاج رأس الدش ، كجزء من القطب ، أيضًا إلى توليد مجال كهربائي موحد من خلال إمدادات طاقة RF لتعزيز التوزيع الموحد للبلازما ، وبالتالي تحسين توحيد الحفر أو التفسير.

نظرًا لأن الغازات المستخدمة في عملية تصنيع أشباه الموصلات قد تكون عالية درجة الحرارة أو الضغط العالي أو التآكل ، فإن رأس الدش عادة ما يكون مصنوعًا من مواد مقاومة للتآكل. في الإنتاج الفعلي ، بسبب سيناريوهات الاستخدام المختلفة والدقة الفعلية المطلوبة ، يمكن تقسيم لوحة توزيع الغاز إلى فئتين التاليتين وفقًا لتكوين المواد:

(1) لوحة توزيع الغاز المعدنية

تشمل مواد لوحات توزيع الغازات المعدنية سبيكة الألومنيوم والفولاذ المقاوم للصدأ والمعادن النيكل ، والتي من بينها مادة لوحة توزيع الغاز المعدنية على نطاق واسع هي سبيكة الألومنيوم ، لأنها تتمتع بتوصيل حراري جيد ومقاومة قوية للتآكل. إنه متوفر على نطاق واسع وسهل المعالجة.

(2) لوحة توزيع الغاز غير المعدنية

تشمل مواد لوحات توزيع الغاز غير المعدنية السيليكون الكريستالي المفرد والزجاج الكوارتز والمواد الخزفية. من بينها ، المواد الخزفية شائعة الاستخدام هي CVD-SIC ، السيراميك الألومينا ، السيراميك نيتريد السيليكون ، إلخ.

Semicorex يوفر جودة عاليةرأس دش كذا CVDفي صناعة أشباه الموصلات. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com