مكونات السيراميك الدقيقة في أشباه الموصلات

الدقة السيراميكالأجزاء هي المكونات الرئيسية للمعدات الأساسية في العمليات الرئيسية لتصنيع أشباه الموصلات ، مثل التصوير الضوئي ، الحفر ، ترسب الأفلام الرقيقة ، زرع أيون ، CMP ، وما إلى ذلك ، مثل المحامل ، قضبان التوجيه ، الطبعات ، الطقوس الإلكتروستاتيكية ، الأسلحة الميكانيكية ، وما إلى ذلك خاصة داخل تجويف المعدات ، وهي تلعب وظائف الدعم والحماية.

في آلات الطباعة الحجرية المتطورة ، من أجل تحقيق دقة عالية العملية ، من الضروري استخدام مكونات الخزفية على نطاق واسع ذات التعقيد الوظيفي الجيد ، والاستقرار الهيكلي ، والاستقرار الحراري ، ودقة الأبعاد ، مثلتشاك الإلكتروستاتيكي, فراغ، بلوك ، لوحة تبريد ماء من الفولاذ المغناطيسي ، مرآة ، مرآة للسكك الحديدية ، طاولة الشغل ، طاولة القناع ، إلخ.

1. تشاك الإلكتروستاتيكي

تشاك الإلكتروستاتيكي هو أداة لتكتل ونقل السيليكون المستخدمة على نطاق واسع في تصنيع مكونات أشباه الموصلات. يتم استخدامه على نطاق واسع في عمليات أشباه الموصلات القائمة على البلازما والفراغ مثل الحفر وترسب البخار الكيميائي وزرع أيون. مواد السيراميك الرئيسية هي السيراميك الألومينا والسيراميك نيتريد السيليكون. صعوبات التصنيع هي التصميم الهيكلي المعقد ، واختيار المواد الخام والتلبية ، والتحكم في درجة الحرارة ، وتكنولوجيا المعالجة عالية الدقة.

2. منصة الهاتف المحمول

يعد تصميم نظام المواد للمنصة المحمولة لآلة الطباعة الحجرية هو مفتاح الدقة العالية والسرعة العالية لآلة الطباعة الحجرية. من أجل مقاومة تشوه المنصة المتنقلة بشكل فعال بسبب الحركة عالية السرعة أثناء عملية المسح ، يجب أن تتضمن مادة النظام الأساسي مواد تمدد حرارية منخفضة مع صلابة عالية محددة ، أي أن هذه المواد يجب أن تحتوي على معامل عالية ومتطلبات منخفضة الكثافة. بالإضافة إلى ذلك ، تحتاج المادة أيضًا إلى صلابة عالية محددة ، والتي تمكن النظام الأساسي بأكمله من الحفاظ على نفس مستوى التشويه مع تسارع وسرعة أعلى. من خلال تبديل الأقنعة بسرعة أعلى دون زيادة التشويه ، يتم زيادة الإنتاجية ، ويتم تحسين كفاءة العمل مع ضمان دقة عالية.

من أجل نقل مخطط دائرة الرقاقة من القناع إلى الرقاقة لتحقيق وظيفة الرقاقة المحددة مسبقًا ، تعد عملية الحفر جزءًا مهمًا. تشمل المكونات المصنوعة من مواد سيراميك على معدات الحفر بشكل أساسي الغرفة ، مرآة النافذة ، لوحة تشتت الغاز ، فوهة ، حلقة عزل ، لوحة تغطية ، حلقة التركيز والتشاك الإلكتروستاتيكي.

3. غرفة

مع استمرار تقليص حجم الميزة لأجهزة أشباه الموصلات ، أصبحت متطلبات عيوب الويفر أكثر صرامة. من أجل تجنب تلوث الشوائب والجزيئات المعدنية ، تم تقديم متطلبات أكثر صرامة لمواد تجاويف ومكونات معدات أشباه الموصلات في التجاويف. في الوقت الحاضر ، أصبحت المواد السيرامية هي المواد الرئيسية لتجويف آلة الحفر.

متطلبات المواد (1) نقاء عالية ومحتوى شوائب معدنية منخفضة ؛ (2) الخواص الكيميائية المستقرة للمكونات الرئيسية ، وخاصة معدل التفاعل الكيميائي المنخفض مع غازات التآكل الهالوجين ؛ (3) الكثافة العالية وعدد قليل من المسام المفتوحة ؛ (4) الحبوب الصغيرة ومحتوى مرحلة حدود الحبوب المنخفضة ؛ (5) خصائص ميكانيكية ممتازة وسهولة الإنتاج والمعالجة ؛ (6) قد يكون لبعض المكونات متطلبات أداء أخرى ، مثل الخواص العازلة الجيدة أو الموصلية الكهربائية أو الموصلية الحرارية.

4. رأس دش

يتم توزيع سطحه بكثافة مع مئات أو الآلاف من الثقوب من خلال الثقوب ، مثل الشبكة العصبية المنسوجة بدقة ، والتي يمكن أن تتحكم بدقة في تدفق الغاز وزاوية الحقن لضمان أن كل شبر من معالجة الويفر "يستحم" بالتساوي في الغاز العملية ، وتحسين كفاءة الإنتاج وجودة المنتج.

الصعوبات الفنية بالإضافة إلى المتطلبات العالية للغاية لمقاومة النظافة ومقاومة التآكل ، ولوحة توزيع الغاز متطلبات صارمة على اتساق فتحة الثقوب الصغيرة على لوحة توزيع الغاز والبورز على الجدار الداخلي للثقوب الصغيرة. إذا كان التسامح في حجم الفتحة والانحراف المعياري للاتساق كبيرًا جدًا أو أن هناك فورًا على أي جدار داخلي ، فإن سمك طبقة الفيلم المودعة سيكون مختلفًا ، مما سيؤثر بشكل مباشر على محصول عملية المعدات.

5. خاتم التركيز

تتمثل وظيفة حلقة التركيز في توفير البلازما المتوازنة ، والتي تتطلب توصيلًا مشابهًا للرقاقة السيليكون. في الماضي ، كانت المادة المستخدمة بشكل أساسي السيليكون الموصل ، لكن البلازما المحتوية على الفلور ستتفاعل مع السيليكون لتوليد فلوريد السيليكون المتطاير ، مما يقلل إلى حد كبير من عمر خدمته ، مما يؤدي إلى استبدال متكرر للمكونات وتقليل كفاءة الإنتاج. يتمتع SIC بتوصيل مماثل لـ SI أحادي البلورة ، ولديه مقاومة أفضل لحفر البلازما ، بحيث يمكن استخدامها كمواد لتركيز الحلقات.

Semicorex يوفر جودة عاليةأجزاء السيراميكفي صناعة أشباه الموصلات. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com