قارب رقاقة كربيد السيليكون

خلف كل عملية درجات الحرارة العالية في تصنيع الرقاقة تكمن لاعب صامت ولكنه حاسم: قارب الرقاقة. نظرًا لأن الناقل الأساسي الذي يتصل مباشرة بالرقاقة السيليكون أثناء معالجة الرقاقة ، فإن المواد والاستقرار والنظافة ترتبط ارتباطًا مباشرًا بعائد الرقاقة النهائي واستقرار العملية. بين مختلف المواد الحاملة ،كربيد السيليكون (كذا)تحل القوارب محل حلول الكوارتز التقليدية تدريجياً ، وتصبح الحل المفضل للعمليات المتقدمة والمعدات الراقية.

لماذا قوارب رقاقة؟

مع تقدم العقد العملية التي تقل عن 7nm وتوسيع نوافذ عملية درجة الحرارة العالية ، تكافح قوارب رقاقة الكوارتز التقليدية بشكل متزايد من حيث الاستقرار الحراري ، والتحكم في الجسيمات ، وإدارة العمر.

ومع ذلك ، تكتسب قوارب رقاقة كربيد السيليكون بشكل تدريجي بروزها بسبب المزايا التالية:

1. مستقر في درجات حرارة عالية:

أنها توفر درجات حرارة تشغيل طويلة الأجل من 1350-1600 درجة مئوية ، والتعامل بسهولة مع العمليات السائدة مثل الأمراض القلبية الوعائية ، والانتشار ، والصلصة. حتى التعرض الموجز لدرجات حرارة 1800 درجة مئوية لا يظهر أي تليين أو تشوه ، مما يجعلها مناسبة للمعدات الراقية مثل أفران كربيد السيليكون الكريستالية.

2. التوسع والاستقرار في الصدمة الحرارية العالية:

مع انخفاض معامل التوسع الحراري ، يمكنهم تحمل زيادة درجة الحرارة السريعة وتناقص ، مما يقلل من التكسير الهيكلي الناجم عن الإجهاد الحراري. وهي تحافظ على التشكل والأداء الممتاز في الأجواء عالية الحرارة ، والمعقدة (مثل الهيدروجين ، والنيتروجين ، والأمونيا ، والفلوريدات).

3. السطح القاسي والتلوث المنخفض للغاية:

نقاء المواد العالية مع الحد الأدنى من الشوائب المعدنية. انخفاض خشونة السطح ، ومنع التلوث الثانوي من رقائق السيليكون ؛ التحكم في خشونة السطح الممتازة ، مع RA أقل من 0.1μm ، يقمع سفك الجسيمات ويلبي متطلبات غرفة النظافة للعمليات المتقدمة ؛

4. صب قطعة واحدة، يمكن تشكيل هياكل قارب الرقاقة الدقيقة التي يمكن أن تتشكل مباشرة من خلال العجلةطباعة ثلاثية الأبعاد، القضاء على الحاجة إلى القوالب ، وتحسين كفاءة التخصيص بشكل كبير ؛ بالاقتران مع تقنية تصنيع الخمسة محاور وتكنولوجيا الأسلاك ، تكون أسنان القارب خالية من الأشرطة ، مما يمنع الخدوش على الرقائق وضمان التعامل الآلي السلس ؛

5. قوة عالية وحياة طويلة: 

يتميز القارب الواحد بقوة عالية الحمل ويمكنه دعم العشرات في وقت واحد لمئات من رقائق 12 بوصة. بالمقارنة مع قوارب الكوارتز التقليدية ، يبلغ متوسط ​​عمر القارب 5-10 مرات ، مما يقلل من تردد تغيير المعدات والتكلفة الإجمالية للملكية.

سيناريو التطبيق

القدرة الواسعة على التكيف معقوارب رقاقة كربيد السيليكونيمتد تطبيقها إلى ما وراء حقل أشباه الموصلات إلى مجموعة متنوعة من سيناريوهات عملية درجات الحرارة العالية ، بما في ذلك مواد الطاقة الجديدة ، وتصنيع LED ، وأبحاث الطاقة النووية.

صناعة أشباه الموصلات

إنه مناسب للعمليات الرئيسية مثل الأكسدة ، والانتشار ، وترسب الأمراض القلبية الوعائية ، وزرع أيون ، مما يجعلها حامل درجات الحرارة العالية لا غنى عنها لخطوط العملية Sub-7NM.

صناعة الكهروضوئية

في تقنيات البطاريات الناشئة مثل Topcon و HJT ، يتم استخدام قوارب الرقاقة في عمليات الفرن عالية الحرارة مثل LPCVD والصلصة ، مما يساعد على تحسين كفاءة الطاقة وتحويلها.

الجيل الثالث أشباه الموصلات

بالنسبة لعمليات النمو الفوقي GAN و SIC في LEDs ، فإنها تدعم ركائز كربيد الياقوت أو السيليكون. يقاومون غازات التآكل مثل NH₃ و HCL ، ودعم تصنيع أجهزة الطاقة عالية التردد.

مواد طاقة جديدة وبحوث منصة عالية درجة الحرارة

يدعم التفاعل الملبد لمواد كاثود بطارية الليثيوم والمعالجة الحرارية لمواد الصناعة النووية ، والجمع بين مقاومة الحرارة ، ومقاومة التآكل ، والنظافة.

Semicorex يقدم عالي النقاءقوارب رقاقة SIC مخصصة. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com