ما هي عملية الانتشار

ينطوي المنشطات على إدخال جرعة من الشوائب في مواد أشباه الموصلات لتغيير خصائصها الكهربائية. الانتشار وزرع أيون هي طريقتان للتوسّع. تم إنجاز المنشطات في وقت مبكر في المقام الأول من خلال نشر درجات الحرارة العالية.

ترسب الانتشار ذرات الشوائب على سطح أرقاقة الركيزةمن مصدر بخار أو أكسيد مخدر. يتناقص تركيز الشوائب من السطح إلى الجزء الأكبر ، ويتم تحديد توزيع الشوائب في المقام الأول من خلال درجة حرارة الانتشار والوقت. يتضمن زرع أيون حقن أيونات Dopant في أشباه الموصلات باستخدام شعاع أيون. يحتوي تركيز الشوائب على توزيع ذروة داخل أشباه الموصلات ، ويتم تحديد توزيع الشوائب من خلال جرعة الأيونات وطاقة الزرع.

أثناء عملية الانتشار ، يتم وضع الرقاقة عادةً في أنبوب فرن كوارتز عالية درجة الحرارة التي يتم التحكم فيها بدقة ويتم إدخال مزيج من الغاز الذي يحتوي على dopant المطلوب. بالنسبة لعمليات انتشار Si ، يعد Boron أكثر dopant من نوع P ، في حين أن الفوسفور هو أكثر dopant من نوع N. (لزرع أيون كذا ، يكون Dopant من النوع P هو عادة بورون أو الألومنيوم ، وعادة ما يكون النيتروجين.)

يمكن النظر إلى الانتشار في أشباه الموصلات على أنها الحركة الذرية لذرات Dopant في شبكة الركيزة من خلال الشواغر أو الذرات الخلالية.

في درجات حرارة عالية ، تهتز ذرات الشبكة بالقرب من مواقع التوازن. الذرات في مواقع الشبكة لديها احتمال معين لكسب طاقة كافية للانتقال من مواقع التوازن ، مما يخلق ذرات خلالية. هذا يخلق شاغر في الموقع الأصلي. عندما تحتل ذرة شجاعة قريبة موقعًا شاغرًا ، يسمى هذا نشر الشواغر. عندما تنتقل ذرة خلالية من موقع إلى آخر ، يطلق عليه الانتشار الخلالي. الذرات ذات القطر الذري الأصغر تعاني بشكل عام من الانتشار الخلالي. يحدث نوع آخر من الانتشار عندما تحل الذرات الخلالية الذرات من مواقع الشبكة القريبة ، مما يدفع ذرة شجاعة بديلة إلى الموقع الخلالي. ثم تكرر هذه الذرة هذه العملية ، مما يؤدي إلى تسريع معدل الانتشار بشكل كبير. وهذا ما يسمى الانتشار المملوء بالدفع.

آليات الانتشار الأولية لـ P و B في SI هي نشر الشواغر وانتشار ملء الدفع.

يقدم Semicorex مخصصًا عالي النقاءمكونات كذافي عملية الانتشار. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com