ما هو ترسيب البخار الكيميائي？

ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن تقنية طلاء تستخدم مواد غازية أو بخارية للخضوع لتفاعلات كيميائية في الطور الغازي أو عند واجهة غازية صلبة لتوليد مواد صلبة تترسب على سطح الركيزة، وبالتالي تشكيل أفلام صلبة عالية الأداء. جوهر الأمراض القلبية الوعائية هو نقل السلائف الغازية إلى غرفة التفاعل، حيث تولد التفاعلات الكيميائية منتجات صلبة تترسب على الركيزة، ويتم استنفاد الغازات الثانوية من النظام.

عملية رد فعل الأمراض القلبية الوعائية 

1. يتم تسليم سلائف التفاعل إلى غرفة التفاعل بواسطة غاز حامل. قبل الوصول إلى الركيزة، قد تخضع غازات التفاعل لتفاعلات طور غازي متجانسة في تدفق الغاز الرئيسي، مما يؤدي إلى توليد بعض المنتجات والمجموعات الوسيطة.

2. تنتشر المواد المتفاعلة والمنتجات الوسيطة عبر الطبقة الحدودية ويتم نقلها من منطقة تدفق الهواء الرئيسية إلى سطح الركيزة. يتم امتصاص الجزيئات المتفاعلة على سطح الركيزة عالي الحرارة وتنتشر على طول السطح.

3. تخضع الجزيئات الممتزة لتفاعلات سطحية غير متجانسة على سطح الركيزة، مثل التحلل والاختزال والأكسدة وما إلى ذلك، لتوليد منتجات صلبة (ذرات غشاء) ومنتجات ثانوية غازية.

4. تتنوى ذرات المنتج الصلب على السطح وتعمل كنقاط نمو، وتستمر في التقاط ذرات التفاعل الجديدة من خلال الانتشار السطحي، وتحقيق نمو الجزيرة للفيلم والاندماج في النهاية في فيلم مستمر.

5. يتم امتصاص المنتجات الثانوية الغازية الناتجة عن التفاعل من السطح، وتنتشر مرة أخرى في تدفق الغاز الرئيسي، ويتم تفريغها في النهاية من غرفة التفاعل بواسطة نظام التفريغ.

تشمل تقنيات الأمراض القلبية الوعائية الشائعة الأمراض القلبية الوعائية الحرارية، والأمراض القلبية الوعائية المعززة بالبلازما (PECVD)، والأمراض القلبية الوعائية بالليزر (LCVD)، والأمراض القلبية الوعائية المعدنية العضوية (MOCVD)، والأمراض القلبية الوعائية ذات الضغط المنخفض (LPCVD)، والبلازما عالية الكثافة الأمراض القلبية الوعائية (HDP-CVD)، والتي لها مزاياها الخاصة ويمكن اختيارها وفقًا للطلب المحدد.

يمكن أن تتوافق تقنيات CVD مع ركائز السيراميك والزجاج والسبائك. وهي مناسبة بشكل خاص للترسيب على الركائز المعقدة ويمكنها تغطية المناطق الصعبة بشكل فعال مثل المناطق المغلقة والثقوب العمياء والأسطح الداخلية. تمتلك CVD معدلات ترسيب سريعة مع تمكين التحكم الدقيق في سمك الفيلم. تتميز الأفلام المنتجة عبر CVD بجودة فائقة، وتتميز بتجانس ممتاز ونقاء عالي والتصاق قوي بالركيزة. كما أنها تظهر مقاومة قوية لدرجات الحرارة العالية والمنخفضة على حد سواء، فضلا عن القدرة على تحمل التقلبات الشديدة في درجات الحرارة.

عديدالأمراض القلبية الوعائية كربيدالمنتجات المقدمة من Semicorex. إذا كنت مهتما، فلا تتردد في الاتصال بنا.